Персоналии

Агеев Олег Алексеевич

  • Организация:
  • Должность:
    • Заведующий кафедрой технологии микро- и
    • наноэлектронной аппаратуры ТТИ ЮФУ
  • Звание:
    • доктор технических наук, профессор
  • Телефон:
    • +7 (8634) 37-16-11
  • Факс:
    • +7 (8634) 37-15-00
  • E-mail:

Заведующий кафедрой технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры ТТИ ЮФУ.

Область научных интересов

  • Стимулированные фотонным, ионно- и электронно-лучевым воздействием физико-химические процессы технологии микро- и наноэлектроники.
  • Разработка и исследование технологических процессов изготовления элементной базы приборов наноэлектроники.
  • Твердофазные процессы в полупроводниках и диэлектриках при импульсной термообработке некогерентным излучением и электронно-лучевыми потоками.
  • Разработка и исследование технологических процессов формирования контактов к активным элементам приборов экстремальной электроники.

Читаемые курсы

  • Методы исследования материалов и структур электроники
  • Экспериментальные методы исследования и метрология
  • Методы диагностики и анализа микро- и наносистем
  • Зондовые технологии
  • Процессы нанотехнологии

Опубликовано 125 научных работ, имеет 4 авторских свидетельства и патента на изобретения.