Инструменты нанотехнологий

BAK-1101 EVATEC. Вакуумная система напыления

ООО «ТБС» предлагает вакуумную систему напыления BAK-1101 EVATEC для микроэлектроники, прецизионной оптики и оптоэлектроники от компании EVATEC (Швейцария).

Вакуумная система напыления BAK-1101 EVATEC идеально подходит для высокоточной оптики в случае конфигурации с плазменным источником или для силовой электроники в случае двусторонней металлизации. При всех тех же возможностях что и у младших установок ВАК 1101 предоставляет огромный потенциал, в том числе и возможность работы с подложками 12' и выше.

Основные возможности

  • Обработка большого количества подложек за один процесс
  • Огромные возможности для конфигурирования
  • Резистивные испарители
  • Магнетронные и плазменные источники
  • Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
  • Плазменная очистка тлеющим разрядом

Контроль процесса:

  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
  • Кварцевый и оптический мониторинг.
  • Анализатор остаточного газа.
  • Оптическая пирометрия.
  • Полная SECS GEM совместимость.

Геометрия вакуумной камеры:

  • Стандартная камера — для типичных металлов и диэлектриков
  • Увеличенная дистанция — для Lift-off
  • Отдельный шлюз для источников испарения — для удобства обслуживания
  • Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock

Подложкодержатели:

  • Стандартные сферические
  • С возможностью переворота
  • Планетарные с 1-ой и 2-мя осями вращения
  • Разработка специальной оснастки

Информация предоставлена ТБС, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ