Инструменты нанотехнологий

KLA-Tencor Candela CS-20. Установка для автоматизированной инспекции поверхности на производстве

ООО «Промышленный мониторинг и контроль» предлагает установку KLA-Tencor Candela CS-20 для автоматизированной инспекции поверхности на производстве.

Оптическая система инспекции поверхности KLA-Tencor Candela CS20 предназначена для детального обследования поверхности полупроводниковых и оптоэлектронных материалов и позволяет контролировать технологический процесс и значительно повышать выход годной продукции. Оборудование предназначено для контроля как непрозрачных (Si, GaAs, и InP), так и прозрачных материалов (SiC, GaN, сапфир, стекло).

Технические особенности:

  • Четыре измерительные методики совмещенные в едином приборе
  • Оборудование разработано с учетом промышленных стандартов на инспекцию поверхности в полупроводниковой отрасли и отрасли производства оптоэлектронных материалов.
  • Пропускная способность контроля для пластин 2'' — 40 шт/час, для пластин 8'' — 20 шт/час
  • Продвинутые алгоритмы расшифровки результатов — возможность создания собственной библиотеки дефектов
  • Автоматизированный контроль производства светодиодных материалов, позволяющий повысить качество производимых подложек, увеличить выход годных изделий.
  • Анализатор оптической чувствительности Candela
  • Контроль дефектности и неизменности условий технологического процесса
    Являются критическими для производства идентичных изделий. Технологические загрязнения, такие как посторонние частицы или пятна могут приводить к изменению свойств покрытий и вызывать проблемы с адгезией промежуточных слоев. Поверхностные и подповерхностные дефекты, такие как микрокаверны, царапины, выступы, дефекты кристаллической структуры и прочие нерегулярности поверхности могут негативно сказаться при последующей обработке и ухудшить характристики изделий.

Candela CS20 является высокочувствительным измерительным оборудованием, которое может быть многократно использовано для контроля различных стадий контроля процесса производства в автоматическом режиме без необходимости длительного ручного контроля.

Продвинутые алгоритмы анализа поверхности
Запатентованная система анализатора оптической чувствительности комбинирует многоканальную детекторную систему для измерения рассеяния света, коэффициента отражения, фазового сдвига, а так же изменений топографии на поверхности пластины.
Система Candela CS20 быстро сканирует поверхность пластины и представляет информацию в виде изображения 100% поверхности пластины в высоком разрешении. Получаемое изображение позволяет измерение как характеристик всей пластины в целом, так и рассмотрение мелких дефектов.
Для инспекции поверхности многочисленные измерения делаются одновременно, а затем анализируются на предмет наличия дефектов и их классификации. Методика инспекции позволяет использовать переменные критерии распознавания визуальных образов дефектов.

Информация предоставлена Группа Ай-Эм-Си, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ