Инструменты нанотехнологий

Dimension Edge. Атомно-силовой микроскоп

Dimension Edge - новый атомно-силовой микроскоп, разработанный на платформе Dimension Icon, лучшего на сегодняшний день АСМа для крупноформатных образцов.

Сохраняя характеристики старшей модели Dimension Edge существенно дешевле и проще в эксплуатации. Сердцем системы является линеаризованный, широкопольный сканер, установленный на жесткой, термокомпенсированной раме. Вся электроника, за исключением CCD камеры и сканера, располагается вне микроскопа, что позволило снизить тепловой дрейф системы. Шумы микроскопа по Z — менее 50 пм. Платформа с вакуумным присосом позволяет автоматически перемещать образцы в плоскости XY. При одновременном исследовании нескольких образцов перемещение от одного к другому можно запрограммировать. Открытый доступ к образцам во время сканирования позволяет реализовывать широкий спектр пользовательских экспериментов: устанавливать дополнительные модули, подавать на образец сигналы от внешних источников.

Управление микроскопом, — проведение измерений, выбор области сканирования, перемещение образца, зуммирование видеокамеры, — осуществляется полностью с компьютера при закрытом акустическом кожухе.

Функция фокусировки «по отражению зонда» позволяет фокусироваться на зеркально гладкие поверхности.

Платформа для образцов

платформа для образцов Dimension Edge

платформа для образцов Dimension Edge

  • 150 мм поворотный диск с вакуумным присосом для крепления образцов;
  • Магнитный держатель для образцов до 15 мм в диаметре;
  • Держатель для изучения поперечного среза образца;
  • Позиционирование образца – автоматическое, шаговыми двигателями в диапазоне 150х150 мм, разрешение перемещения 2 мкм, повторяемость 3 мкм;
  • Платформа может быть запрограммирована на последовательное измерение нескольких установленных на нее образцов.

Dimension Edge реализует следующие режимы работы на воздухе и в жидкости:

  • Контактный режим
  • Режим латеральных сил
  • Полуконтактный режим (tapping mode)
  • Режим регистрации фазы
  • Двухпроходный режим
  • Магнитно-силовая микроскопия
  • Электро-силовая микроскопия
  • Кельвин-микроскопия (потенциал поверхности)
  • Силовая спектроскопия (в т.ч. силовое картирование)
  • Туннельная микроскопия и спектроскопия
  • Dark Lift
  • Наноиндентирование
  • Нанолитография
  • Наноманипуляции
  • Термическая микроскопия
  • Термоанализ
  • Туннельная АСМ
  • Проводящая АСМ
  • Емкостная микроскопия

Сканер

сканер для Dimension Icon

Используется сканер, специально разработанный для новой линейки микроскопов Dimension (в частности, Dimension Icon). Поле сканирования — до 90х90х10 мкм3.

Модули для электрических методик

SCM-изображение поверхности модуля памяти SRAM

SCM-изображение поверхности модуля памяти SRAM

Дополнительные модули позволяют картировать количественные электрические свойства поверхности. В режиме Dark Lift оператор может отключать лазер и сканировать поверхность образца в полной темноте. Таким образом, исключаются артефакты, возникающие от влияния лазера на светочувствительные образцы. На картинке — SCM-изображение поверхности модуля памяти SRAM, режим Dark Lift, размер кадра 15х15 мкм2.

  • Микроскопия сопротивления растекания;
  • Туннельная АСМ (80 фА – 120 пА);
  • Проводящая АСМ (1 пА – 1 мкА);
  • Емкостная микроскопия (dC/dV(x,y), dC/dV (V), определение концентрации носителей в диапазоне 1015–1020 см-3).

Оптическая система

Встроенная высокоразрешающая (менее 1.5 мкм) оптическая система позволяет наблюдать область сканирования и контролировать процесс позиционирования образца.

  • 5-ти мегапиксельная цифровая камера;
  • Моторизированные фокусировка и зуммирование;
  • Автоматическая подстройка яркости;
  • Видимая область (в зависимости от положения зума): от 180 мкм до 1465 мкм.

Работа в жидкостях

АСМ-изображение молекулы ДНК

АСМ-изображение молекулы ДНК

Биологические образцы можно исследовать как на воздухе, так и в жидкостях, используя специальные аксессуары. На картинке — АСМ-изображение молекулы ДНК, помещенной в буферный раствор, размер скана 750х750 нм2.

Термическая микроскопия и термоанализ

Система для термической микроскопии и термоанализа

Система для термической микроскопии и термоанализа

Технология VITA (Veeco Instruments Thermal Analysis) позволяет делать локальный термоанализ поверхности образца и картировать распределение температуры.

  • Латеральное разрешение 100 нм;
  • Очень быстрое изменение температуры зонда;
  • Локальный разогрев до 400°С
  • Картирование распределения температуры композитных материалов и рабочих устройств (например, магнитных головок);
  • Нагревается только вершина острия кантилевера (см. схему термозонда).
Схема термозонда

Схема термозонда

Система термостатирования образцов

Контроллер для системы термостатирования образцов

Контроллер для системы термостатирования образцов

Нагревательные/охлаждающие элементы предназначены для термостатирования образцов в диапазоне температур от –35°С до +250°С. Контроль температуры осуществляется внешним контроллером.

Информация предоставлена ОПТЭК (ZEISS Group)

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ