Инструменты нанотехнологий

Elli-RP. Спектроскопический рефлектометр

ООО «Промэнерголаб» предлагает спектроскопический рефлектометр Elli-RP для надежного, быстрого и точного измерения толщин пленок в различных технологических процессах производства Ellipso Technology (Корея).

Рабочие характеристики
Измеряемые константы: толщина пленки, n, k через λ, отражательная способность
Диапазон толщин 10 нм ~ 50 мкм (зависит от типа пленки)
Число слоев: до 3 слоев (зависит от типа пленки)
Производительность 0.5 с на точку (зависит от типа пленки)
Повторяемость ± 1Å при измерении 10 раз
Рабочее расстояние: 100 +/- 50 мм
Структура рефлектометра
Источник света: галогеновая лампа
Оптическая система: рефракционная оптическая система, система коллимационных линз, разветвленное волокно
Размер светового пучка: 1–5 мм
Спектральный диапазон: 380~1000 нм (UV опция: 240–1000 нм)
Тип спектрографа: ПЗС матрица
Применение
Полупроводники Si, Ge, SiO2, ONO, ZnO, PR, BLT, poly-Si, GaN, GaAs
Дисплеи (в т.ч. OLED) MgO, ITO, PR, Alq3, CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS
Диэлектрики SiO2, TiO2, Ta2O5, ITO, AiN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, водные окислы
Полимеры красители, Npp, MNA, PVA, PET, TAC, PR
Химия органические пленки (OLED) и LB тонкие пленки
Солнечные ячейки Sin, a-Si, поли-Si, SiO2
Опции
Система измерения тонких пленок: диапазон толщин 1–300 мкм
Автоматическое картирование: X-Y подвижный столик
Мульти проба: поточная линия (опционно)
UV оцпия : 200–1000 нм

Информация предоставлена Промэнерголаб, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ