Инструменты нанотехнологий

EvoVac. Установка вакуумного напыления (PVD)

Установка EvoVac самая большая из серии установок компании Angstrom Engineering Inc. и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом.

Система EvoVac — самая большая по размерам установка популярной линейки Åmod, имеющая большую гибкость по сравнению с другими. Большая дверь и увеличенные размеры камеры позволяют устанавливать большие по размеру источники. EvoVac предназначена для исследований, требующих установки большего количества различных источников в одной камере.

Описание

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation),
магнетронное напыление (sputter deposition),
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation),
ионное напыление (ion-assisted deposition)
Обзор:
Продвинутая система управления на базе ПК
Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция)
Длинная дистанция между источниками и подложкой
Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция)
Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика
Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере
1600х1000 мм — площадь занимаемая системой
660x660x500 мм высотой камера с выдвижной дверью на петлях (возможна D-образная камера)
Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов
Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления
Диаметр обрабатываемых подложек до 300 мм (пластины большего диаметра по запросу)
Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)
Обучение работе на системе на заводе
1 год гарантии
Контроль вакуума:
Автоматический форвакуумный насос
Сухие насосы (опция)
Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом
Крио насосы (опция)
Пневматически воздушный фильтр
Управление процессом осаждения:
теневая маска и выравнивание подложки
легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса
датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом
конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)
QCM — изолированный датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников
Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления
Нагрев подложки, охлаждение и доп. смещение на подложку
Планетарное вращение, напыление под углом

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена Энергоавангард, ООО

Отправить сообщение представителю компании

Рубрикатор

Специальное предложение на конфокальный рамановский дисперсионный спектрометр Renishaw inVia
РОСНАНО - Государственная корпорация Роснанотех

Все проекты РОСНАНО

Последние поступления

Новости от RedTram

Поиск оборудования

A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V X Z А Б В Г Д Е И Л М Н О П Р С Т У Ф Э ВСЕ
Форма заказа оборудования

Текущие запросы

Требуется установка AX 6600-100

Требуется установка AX 6600-100 для изготовления алмазных плёнок на подложку (технология осаждения углерода из газовой фазы CVD).

Принята

Требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм по ГОСТ 17216

Нашему предприятию требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм ГОСТ 17216-2001 МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ, ЧИСТОТА ПРОМЫШЛЕННАЯ, Классы чистоты жидкостей. Должна быть возможность автоматического подсчета частиц.

В обработке

НаноСкан-Компакт

Добрый день! Прошу выслать коммерческое предложение на приобретение  прибора "НаноСкан-Компакт. Сканирующий нанотвердомер" с учетом его растаможки и доставки в г. Харьков. Украина. Заранее благодарю.

В обработке

ИК-Фурье спектрометр

Необходим прибор для анализа светлых нефтепродуктов и растворителей. Просим выслать на рассмотрение коммерческое предложение на прибор с доставкой в Московскую область. Есть ли гарантии и гарантийное обслуживание, обучение персонала.

В обработке