Инструменты нанотехнологий

Four Dimesions 280I. Система измерения сопротивления четырехзондовым методом

ООО «Промышленный мониторинг и контроль» предлагает настольную систему для измерения удельного сопротивления четырехзондовым методом Four Dimesions 280I.

Настольная система для измерения удельного сопротивления Four Dimesions серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин. Продуманная конструкция и надежность позволяют осуществлять измерения с высокой точностью и воспроизводимостью.

Компания Four Dimesions предлагает ряд конфигураций систем серии 280I:

280 PI
Базовое исполнение в серии. Автоматически измеряет 1, 5 и 9 областей контроля с возможностью выведения результатов на печать. Измерительный диапазон — от 1 мОм до 800 кОм
280 PCI
В дополнение к функционалу 280 PI имеет возможность построения ВАХ, хранит в памяти до 15 программ проведения измерений, комплектуется отдельным персональным компьютером
280 SI
Комплектуется персональным компьютером под управлением ОС MS Windows, поддерживает хранение библиотеки методик контроля, ведение статистики измерений, измерения p-n переходов, поддержка интерфейса SECS-II, диагностики, а так же многих других функций
280 TSI
Имеет аналогичный функционал с 280 SI, дополненный температурной компенсацией
280 TCI
В дополнении к функциям 280 TSI имеет пакет статистического управления процессом.
280 DI
В дополнении к функциям 280 SI обладают расширенным диапазоном измерений до 800 ГОм
280 HCI
Обладает аналогичными функциями с 280 TCI, дополнительно обладая высокотемпературной камерой

Технические характеристики

  • Размеры пластин: 50, 75, 100, 125, 200 мм
  • Размер мертвой зоны: 3 мм от края пластины
  • Функция «быстрых» измерений:
    • Шаг между измерениями: 0,1 мм
    • Максимальное количество измерительных точек: 6000
    • Измерительный диапазон: 1 мОм — 8 ГОм
    • Воспроизводимость измерений: <0,2%
    • Точность: <0,1%
    • Разрядность АЦП измерителя тока: 16 Бит
    • Прикладываемое напряжение: до 125 В
  • Анализ данных:
    • Программное обеспечение Automap 280I

Карта распределения удельного сопротивления по поверхности пластины:

  • Тестирование p-n переходов
  • Измерение объемного сопротивления
  • Сканирование сопротивления по диаметру
  • Статистический анализ данных
  • Компенсация изменения толщины, температуры и краевых эффектов
  • Хранение данных в организованных библиотеках

Требования к помещению:

  • Потребление электроэнергии: 100–220 В, 50–60 Гц, 200 Вт
  • Вакуумный зажим 20 мм.рт.ст
  • Габаритные размеры (ДхШхВ): 547х508х635 мм

В зависимости от задач предлагается широкий набор измерительных головок и наконечников.

Информация предоставлена Группа Ай-Эм-Си, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ