Инструменты нанотехнологий

Irida. Кластерное оборудование

ООО «ЭСТО-Вакуум» предлагает кластерное оборудование Irida.

Серия «Irida» — интегрированная производственная система, состоящая из нескольких технологических модулей, механически соединенных вместе. Использование данного оборудования позволяет реализовать целый ряд задач в один технологический цикл.

Разработанная кластерная установка с тремя процессными модулями на основе масштабируемого и энергосберегающего источника ПВП используется для реализации следующих процессов:

  • нанесение различных покрытий, функциональных слоев и тонкопленочных структур с заданными (регулируемыми) физико-химическими свойствами;
  • очистка, модификация и имплантация поверхности различных материалов с целью придания им требуемых физико-химических свойств;
  • высокоразрешающее (с субстананометровым разрешением) травление и проявление различных материалов в маршрутах современной фотолитографии и наноимпринт литографии;
  • глубокое реактивное ионное травление в маршрутах микро- и наноприборов с трехмерной интеграцией.

Информация предоставлена ООО «ЭСТО-Вакуум»

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ