Инструменты нанотехнологий

JAMP-9500F. Оже-микрозонд

Оже-микрозонд JAMP-9500F сочетает в себе свойства высокоточного Оже-анализатора с энергетическим разрешением (ΔE/E=0.05%) и хорошего растрового электронного микроскопа с разрешением во вторичных электронах не хуже 3 нм на 24-миллиметровом рабочем отрезке.

Использование термоэмиссионной электронной пушки и высокостабильной электронно-оптической колонны с максимальным током пучка 200 нА открывает широкие аналитические возможности для пользователя JAMP-9500F.

Такое удачное сочетание и продуманная конструкция наделяют прибор целым рядом уникальных свойств:

  • возможность картирования по Оже-спектрам с пространственным разрешением не хуже 8 нм, что делает JAMP-9500F настоящим нанозондом, не имеющем аналогов во всем мире;
  • возможность травления образцов ионным пучком и исследования их структуры и состава по глубине;
  • возможность исследования токонепроводящих материалов;
  • возможность изучения локального фазового состава методами Оже-спектроскопии и дифракции отраженных электронов;
  • возможность установки энергодисперсионного спектрометра (ЭДС) и проведения точного рентгеноского картирования легких элементов в ультравысоком вакууме (порядка 10–8 Па) без углеродной контаминации;
  • возможность «холодного скола» образцов и изучения атомарно чистых поверхностей;
  • возможность нагрева образцов до 600 градусов Цельсия;
  • и многое другое.

Информация предоставлена Tokyo Boeki Ltd

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ