Инструменты нанотехнологий

JSM-6490. Сканирующий электронный микроскоп

Спроектирован, чтобы удовлетворить запросам самых взыскательных исследователей, равно как и опытных инженеров, использующих сканирующий электронный микроскоп в качестве средства контроля. Полностью автоматизированная система электронной оптики для использования всех возможностей инструмента оператором, даже с минимальным набором знаний.

На колонну микроскопа можно одновременно монтировать от одного до трёх дополнительных спектрометров. Энерго-дисперсионный спектрометр (EDS), волновой спектрометр (WDS), детектор картин дифракции отражённых электронов (EBSD). С помощью этих аналитических приставок вы сможете получать информацию не только о морфологии поверхности, но и о составе образца на субмикронном уровне, получать картины распределения элементов по выбранной площади образца, вдоль линии, а также кристаллографическую информацию от микрозёрен. Важно, что спектрометры работают в единой программе.

  • Многоцелевой РЭМ с предельной простотой управления и высоким качеством оптики.
  • Камера и столик для изучения больших образцов (до 200мм диаметром)
  • Интуитивно понятный интерфейс. Графические иконки содержат надписи, раскрывающие их функциональное назначение. Все операции по управлению микроскопом могут выполняться с помощью мышки.
  • Многопользовательская система.
  • Дополнительная установка спектрометров расширяет возможности микроскопа до аналитических.
  • С помощью новой системы сканирования с большим полем зрения, можно работать на очень малых увеличениях около х8. Минимальное увеличение х5 дает возможность изучать большие образцы, при таком увеличении рабочая площадь на образце составляет 2 см. Такая система особенно удобна для работы в сочетании с автоматической навигацией столика образца.
  • Такие автоматические функции, как Автофокусировка, Автостигмирование и Автоматическая установка контраста и яркости, сделают Вашу работу с микроскопом легкой и удобной. Электронная пушка полностью автоматизирована. При изменении ускоряющего напряжения в процессе наблюдения или анализа не требуется проведения каких-либо настроек.
  • Операции по управлению электронной оптикой просты и эффективны.
  • Благодаря уникальной конденсорной линзе с переменным фокусным расстоянием, разработанной фирмой JEOL, фокусировка и положение поля зрения даже на очень больших увеличениях поддерживаются неизменным, что избавляет оператора от потерь времени на дополнительную юстировку.
  • Низковакуумная модель РЭМ JSM-6490LV имеет, в дополнение к обычному высоковауумному, низковакуумный режим работы. В таком режиме можно изучать непроводящие образцы без всякого препарирования, а затем проанализировать их с помощью энергодисперсионного спектрометра. В режиме низкого вакуума можно также работать с образцами, обладающими сильным газовыделением. Используя запатентованный фирмой JEOL метод сушки замораживанием, можно также изучать влажные образцы.
  • Фирма JEOL разработала и запатентовала полупроводниковый детектор отраженных электронов с высокой чувствительностью, который дает возможность наблюдать образцы, используя три вида контраста: композиционный, топографический и теневой.
  • Эвцентрический столик образца имеет минимальный сдвиг поля зрения, а также фокуса при вращении образца. Держатель предназначен для наблюдения особенностей поверхности, в том числе, под разными углами. Вы можете наблюдать третье измерение - глубину образца, путём получения серий стереоизображений. Качество стереоизображений напрямую зависит от того, насколько точно сохраняется исходное положение образца при его вращении и наклоне.
Технические параметры
Характеристика Значение
Разрешение в режиме высокого вакуума 3 нм при 30 кВ,8нм при 3кВ, 15нм при 1кВ
Разрешение в режиме низкого вакуума 4 нм при 30 кВ
Ускоряющее напряжение от 0,3 до 30 кВ
Диапазон увеличений от х8 до х300 000 при >11кВ от х5 до х300 000 при <10кВ
Виды контраста вторичные электроны: топографический контраст
отражённые электроны: композиционный, топографический, теневой контрасты.
Тип катода вольфрамовый (W) или из гексаборида лантана (LaB6), предварительно центрированные на заводе
Конденсорная линза с переменным фокусным расстоянием
Объективная линза суперконического типа
Диафрагма объективной линзы три ступени, с подстройкой по координатам Х и Y
Столик образцов большой, эвцентрического типа, диапазон перемещений: по координатам: Х 125 мм, Y 100 мм, Z - от 5 до 80 мм. наклон: от -10 до +90 градусов, вращение 360 градусов
Моторизация перемещения столика до 5 осей с компьютерным управлением (опция)
Операционная система MS Windows XP
Сканирующий электронный микроскоп JSM-6490

Сканирующий электронный микроскоп JSM-6490

Информация предоставлена Tokyo Boeki Ltd

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ