K-ALPHA — полностью интегрированный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр (РФЭС), максимально компактный и простой в обращении прибор, сочетающий разумную цену с высокой функциональностью. Все процессы максимально автоматизированы, все операции проводятся без вмешательства пользователя (за исключением загрузки образца). Система комплектуется ионной пушкой с функцией зарядовой нейтрализации. 128-канальный анализатор для построения высококачественных спектральных карт. Автоматическая генерация отчёта.
Высочайшая аналитическая мощность, низкая стоимость, и компактные размеры сделали K-Alpha идеальным решением как для традиционных так и для новых областей анализа поверхности. Всего за год существования на рынке прибор стал чрезвычайно популярен в биомедицинских лабораториях и центрах наноматериалов по всему миру.
Конфигурация
Микрофокусный монохроматизированный РФЭС для быстрого и эффективного анализа
- Определение химических состояний
- Непрерывное изменение площади области исследования (от больших площадей до 30 мкм)
- Неразрушающий анализ
- Простое позиционирование
- Картографирование поверхности, построение сечений в микромасштабе
Продвинутая электронная оптика, обеспечивающая максимальную точность и высокую пропускную способность
- Новейшая конструкция линз
- Анализатор высокого разрешения
- Получение данных как в параллельном режиме, так и в режиме сканирования
- Режим снимка для быстро картирования поверхности и профилирования по глубине
- Превосходные пределы обнаружения для методики РФЭС
Точная навигация по поверхности образцая для полной уверенности в получаемых результатах
- Максимальная точность позиционирования
- Уникальная система подсветки
- Запатентованная система наблюдения за образцом (используются 3 камеры)
- Система отражающей оптики для поиска области интереса
Новейшая ионная пушка для оптимальных условий глубинного профилирования
- Лучшее разрешение по глубине
- Режим низкой энергии луча
- Вращение образца
- Режим высокого тока для максимальной пропускной способности
- Автоматическая настройка и юстировка
Новая система компенсации заряда для исследования непроводящих образцов
- Спектры высокого разрешения
- Исследование любого типа образцов
- Анализ больших и малых площадей поверхности
- Вмещательство пользователя не требуется
Геометрия всех аналитических компонентов была учтена для того, чтобы оптимизировать работу прибора. Схему расположения указанных компонентов можно найти на рисунке. Система обладает несколькими важными особенностями:
- Ось промежуточной линзы параллельна нормали поверхности образца, что обеспечивает максимальную эффективность сбора данных.
- Оптика Reflex всегда обеспечивает линейное изображение анализируемого образца, также параллельное нормали образца. Это обеспечивает наилучшие условия для определения позиции образца с максимальной точностью.
- Камера для установки высоты позволяет точно определить правильное положение образца при анализе малых площадей и правильную высоту для получения оптимальной чувствительности.
- Рентгеновские лучи проходят через фокусирующий монохроматор. Это позволяет пользователю определить площадь анализа и обеспечивает максимальную чувствительность при анализе малых площадей.
- Новая ионная пушка обеспечивает получение глубинных профилей с отличным глубинным разрешением. Она направляет пучок низкоэнергетических ионов на маленькую точку, что обуславливает сочетание хорошего разрешения с высокой скоростью анализа.
- Новая заполняющая пушка разработана таким образом, что пользователю нужно только переключиться на нее, когда требуется анализ изоляторов. Никакая дополнительная юстировка или оптимизация не требуется.
- Подсветка для образца очень важна для получения высококачественного изображения образца в реальном времени. Система K-Alpha оборудована осветителями двух типов. Один дает коаксиальное освещение для оптики Reflex, идеальное для образцов с гладкой поверхностью. Другой источник света дает неосевое освещение, которое идеально подходит для шероховатых образцов.
- Аналитическая камера вырезана из цельного куска сплава никеля с железом. Это обеспечивает отличное магнитное экранирование. Точность изготовления сводит к минимуму необходимость юстировки компонентов. Для прокачки используется турбомолекулярный турбонасос, работающий в комбинации со спиральным насосом и сублимационным насосом.
Архитектура системы K-Alpha