Сортировать: по рейтингу | по названию | по дате поступления | по популярности

Оборудование

Ионно-лучевая обработка

Ионно-лучевая обработка материалов (ИЛО) осуществляется пучком ускоренных заряженных частиц, сформированных в автономных источниках ионов. Ускоренные ионы попадают в технологическую камеру и взаимодействуют с поверхностью обрабатываемого объекта, вызывая либо распыление материала, либо осаждение материала.

Из методов ионно-лучевого травления различают:

  • Ионно-лучевое травление (ИЛТ или IBE — Ion Beam Etching) осуществляется пучками ионов инертных газов за счет физического распыления материалов.
  • Реактивное ионно-лучевое травление (РИЛТ или RIBE — Reactive Ion-Beam Etching) — удаление материала за счет химического взаимодействия ионов соединений с обрабатываемым материалом, в результате чего образуются летучие соединения, откачиваемые вакуумной системой. Вследствие этого РИЛТ, сохраняя достоинства ИЛТ по разрешению процесса и точности переноса рисунка, обеспечивает селективность травления одного материала относительно другого.
  • Химически-стимулированное ионно-лучевое травление (ХСИЛТ или CAIBE — Chemically Assisted Ion Beam Etching)

Методам ионно-лучевого напыления (IBD — Ion Beam Deposition) являются:

  • Ионно-лучевое распыление (IBS — Ion Beam Sputtering)
  • Dual Ion Beam Sputtering (DIBS)
  • Direct Ion Beam Deposition (DIBD)
18

Qprep500. Система молекулярно-лучевой эпитаксии

Производитель: Mantis Deposition (United Kingdom)

Поставщик: Экситон Аналитик, ООО

Рубрикатор: Молекулярно-лучевая эпитаксия, Научно-исследовательские комплексы, Синтез наноматериалов, Ионно-лучевая обработка, Магнетронное напыление

Ключевые слова: Молекулярно-лучевая эпитаксия

ООО «Экситон Аналитик» предлагает систему молекулярно-лучевой эпитаксии Qprep500 для выращивания тонких пленок из металлов.

10

Zeiss Neon® 60. Аналитический автоэмиссионный электронный микроскоп

Производитель: Carl Zeiss Group (Германия)

Поставщик: ОПТЭК (ZEISS Group)

Рубрикатор: Аналитические системы, Ионно-лучевая обработка, Просвечивающие электронные микроскопы

Ключевые слова: электронный микроскоп, ПЭМ

Аналитический автоэмиссионный электронно-ионный (двухлучевой) растровый электронный микроскоп для исследования наноструктур, нанопрепарирования, электронно-лучевой и ионно-лучевой литографии, инспекционных целей и подготовки сверхтонких срезов для исследований методами ПЭМ.

Amod. Установка вакуумного напыления

Производитель: Angstrom Engineering Inc.

Поставщик: МИНАТЕХ, ООО

Рубрикатор: Ионно-лучевая обработка, Магнетронное напыление

Ключевые слова: вакуумное напыление, PVD, резистивное термические испарение, resistive thermal evaporation, магнетронное напыление, sputter deposition, электронно-лучевое испарение, electron beam evaporation, ion-assisted deposition, ионное ассистирование

Установки вакуумного напыления AMOD компании Angstrom Engineering Inc. для исследований в области напыления тонких пленок. Могут оснащаться перчаточным боксом.

Aspira-150. Вакуумное напылительное оборудование

Производитель: Izovac

Поставщик:

Рубрикатор: Ионно-лучевая обработка, Магнетронное напыление

Ключевые слова: вакуумное оборудование, ионно-лучевое, магнетронное распыление, вакуумная установка

Новейшая вакуумная установка Aspira-150 для решения оптических задач высокой сложности.

BAK-1101 EVATEC. Вакуумная система напыления

Производитель: Evatec AG

Поставщик: ТБС, ООО

Рубрикатор: Ионно-лучевая обработка, Магнетронное напыление

Ключевые слова: Вакуумное напыление

ООО «ТБС» предлагает вакуумную систему напыления BAK-1101 EVATEC для микроэлектроники, прецизионной оптики и оптоэлектроники от компании EVATEC (Швейцария).

BAK-501 EVATEC. Вакуумная система напыления

Производитель: Evatec AG

Поставщик: ТБС, ООО

Рубрикатор: Ионно-лучевая обработка, Магнетронное напыление

Ключевые слова: Вакуумное напыление

ООО «ТБС» предлагает вакуумную систему напыления BAK-501 EVATEC для прецизионной оптики и оптоэлектроники от компании EVATEC (Швейцария).

BAK-641 EVATEC. Вакуумная система напыления

Производитель: Evatec AG

Поставщик: ТБС, ООО

Рубрикатор: Ионно-лучевая обработка, Магнетронное напыление

Ключевые слова: Вакуумное напыление

ООО «ТБС» предлагает вакуумную систему напыления BAK-641 EVATEC для прецизионной оптики и оптоэлектроники от компании EVATEC (Швейцария).

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ