Сортировать: по рейтингу | по названию | по дате поступления | по популярности

Оборудование

Молекулярно-лучевая эпитаксия

Молекулярно-лучевая эпитаксия или молекулярно-пучковая эпитаксия — технология осаждения эпитаксиальных пленок полупроводников посредством испарения материалов при низком давлении.

Позволяет изготавливать эпитаксиальные структуры с высокой точностью по толщине и почти идеальной стехиометрией. Последнее объясняется относительно невысокой скоростью технологического процесса и возможностью буквально послойного формирования осаждаемых пленок: атом за атомом встраивается в кристаллическую решетку.

Чаще всего по этой технологии получают эпитаксиальные пленки сложных полупроводников. В установках молекулярно-лучевой (пучковой) эпитаксии имеется возможность исследовать качество плёнок «in situ» (то есть прямо в ростовой камере во время роста).

Основное преимущество метода — возможность создания уникальных наноструктур с очень высокой чистотой, однородностью и малым количеством дефектов. К недостаткам метода можно отнести высокую цену оборудования и исходных материалов, малую скорость роста, сложность поддержания высокого вакуума.

Англоязычный термин: Molecular Beam Epitaxy (MBE).

18

Qprep500. Система молекулярно-лучевой эпитаксии

Производитель: Mantis Deposition (United Kingdom)

Поставщик: Экситон Аналитик, ООО

Рубрикатор: Молекулярно-лучевая эпитаксия, Научно-исследовательские комплексы, Синтез наноматериалов, Ионно-лучевая обработка, Магнетронное напыление

Ключевые слова: Молекулярно-лучевая эпитаксия

ООО «Экситон Аналитик» предлагает систему молекулярно-лучевой эпитаксии Qprep500 для выращивания тонких пленок из металлов.

LAB 10. Лабораторная система молекулярно-лучевой эпитаксии

Производитель: ScientaOmicron (Швеция-Германия)

Поставщик: Группа Ай-Эм-Си, ООО

Рубрикатор: Молекулярно-лучевая эпитаксия, Оборудование планарных технологий

Ключевые слова: МЛЭ, установка МЛЭ, молекулярно-лучевая эпитаксия

ООО «Группа Ай-Эм-Си» предлагает универсальную компактную лабораторную систему молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) LAB 10 от компании ScientaOmicron (Швеция-Германия).

SemiTEq STE 3N3. Установка молекулярно–пучковой эпитаксии

Производитель: SemiTEq (Россия)

Поставщик: ЗАО «Научное и технологическое оборудование», ЗАО «Инструменты Нанотехнологии»

Рубрикатор: Научно-исследовательские комплексы, Молекулярно-лучевая эпитаксия

Ключевые слова: молекулярно–пучковая эпитаксия, МПЭ

Трехкамерная установка молекулярно–пучковой эпитаксии STE3N3 разработана с учётом специфики роста нитридов металлов III группы (A3N) и обеспечивает чрезвычайно широкий технологический диапазон доступных ростовых параметров. Благодаря заложенным возможностям STE 3N3 обеспечивает эффективное проведение фундаментальных и прикладных научных исследований, опытно-конструкторских работ, а также постановку пилотного производства эпитаксиальных структур на основе нитридов.

SemiTEq STE 75. Установка молекулярно-лучевой эпитаксии

Производитель: SemiTEq (Россия)

Поставщик: ЗАО «Научное и технологическое оборудование»

Рубрикатор: Научно-исследовательские комплексы, Молекулярно-лучевая эпитаксия

Ключевые слова: молекулярно–лучевая эпитаксия, МЛЭ

Универсальная компактная система молекулярно-лучевой эпитаксии STE 75 для выращивания широкого спектра полупроводниковых соединений А3В5 и широкозонных соединений А2В6.

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ