Сортировать: по рейтингу | по названию | по дате поступления | по популярности

Оборудование

Планарные технологии

Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.

Основные операции планарной технологии:

  • создание тонкой диэлектрической пленки на поверхности кристаллического полупроводника (Si,Ge, GaAs);
  • удаление способом фотолитографии или электронолитографии определенных участков этой пленки;
  • введение в кристалл через незащищенные пленкой участки донорных или акцепторных примесей (легирование).

В результате этих операций в кристалле образуются области с электронно-дырочными переходами.

53

SemiTEq STE EB 48. Установка электронно-лучевого напыления

Производитель: SemiTEq (Россия)

Поставщик: ЗАО «Инструменты Нанотехнологии», ЗАО «Научное и технологическое оборудование»

Рубрикатор: Научно-исследовательские комплексы, Оборудование планарных технологий

Ключевые слова: электронно-лучевое напыление

Установка электронно-лучевого напыления STE EB 48 предназначена для напыления тонких пленок различных материалов в сверхвысоком вакууме на подложку диаметром до 150 мм или нескольких подложек меньшего размера с использованием соответствующего адаптера.

22

MDA-400М. Ручная установка совмещения и контактного экспонирования

Производитель: Midas System (Корея)

Поставщик: Евроинтех, ООО

Рубрикатор: Оборудование планарных технологий

Ключевые слова: фотолитография, микроэлектроника, экспонирование

Установка совмещения и экспонирования подложек MDA-400M корейской фирмы MIDAS System широко используется в производстве оптоэлектронных устройств и MEMS систем.

12

FlexAL. Система атомно слоевого осаждения (ALD)

Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)

Поставщик: Technoinfo Limited, ИНТЕК

Рубрикатор: Атомно-слоевое осаждение

Ключевые слова: ALD-технологии

Система FlexAL предоставляет уникальные возможности для разработки наноразмерных структур и приборов. FlexAL реализует процессы атомно-слоевого осаждения с удаленной плазмой и термическое ALD в максимально гибкой конфигурации. Возможна обработка пластин диаметром вплоть до 200 мм.

10

OpAL. Система атомно слоевого осаждения (ALD)

Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)

Поставщик: Technoinfo Limited, ИНТЕК

Рубрикатор: Атомно-слоевое осаждение

Ключевые слова: ALD-технологии

Система OpAL ориентирована на проведение термического ALD. Однако, установка может быть модернизирована для использования плазменного атомно-слоевого осаждения. Возможна обработка пластин диаметром вплоть до 200 мм.

7

MDA-12SA. Полуавтоматическая установка совмещения и контактного экспонирования

Производитель: Midas System

Поставщик: Евроинтех, ООО

Рубрикатор: Оборудование планарных технологий

Ключевые слова: фотолитография, экспонирование, совмещение

Полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования подложек MDA-12SA — это идеальный инструмент для широкого диапазона применений, таких как производство оптоэлектронных компонентов, MEMS систем, светодиодов, столбиковых выводов для флип-чип приборов и других применений, где требуется высочайшая точность и гибкость процессов.

5

MDA-40FA. Автоматическая установка совмещения и контактного экспонирования

Производитель: Midas System

Поставщик: Евроинтех, ООО

Рубрикатор: Оборудование планарных технологий

Ключевые слова: фотолитография, экспонирование, совмещение

Автоматическая установка для совмещения и экспонирования подложек MDA-40FA — это новейшая разработка компании MIDAS System для проведения процессов фотолитографии: совмещения и контактного экспонирования. Высокая точность и повторяемость результатов позволяют использовать ее для производства светодиодов, MEMS систем, столбиковых выводов для флип-чип приборов и других применений, где требуется высочайшая точность и гибкость процессов.

5

Вакуумные лабораторные печи XF

Производитель: France Etuves

Поставщик: Евроинтех, ООО

Рубрикатор: Оборудование планарных технологий

Ключевые слова: температурная обоработка, отжиг, дегазация

Вакуумные лабораторные печи XF французской фирмы France Etuves используются для самых разнообразных лабораторных и промышленных применений.

5

Универсальные лабораторные печи XU

Производитель: France Etuves

Поставщик: Евроинтех, ООО

Рубрикатор: Оборудование планарных технологий

Ключевые слова: температурная обработка, сушка, оплавление

Универсальные лабораторные печи XU компании France Evtunes используются для самых разнообразных применений, где необходима сушка, нагрев, сохранение тепла, стерилизация горячим воздухом, температурная обработка компонентов или температурные тестирования.

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ