Инструменты нанотехнологий

Mantis Deposition M600. Система молекулярно-лучевой эпитаксии

ООО «Экситон Аналитик» предлагает систему молекулярно-лучевой эпитаксии Mantis Deposition M600 для нанесения тонких пленок.

СВВ система М600 предназначена для нанесения тонких пленок преимущественно при помощи молекулярно-лучевой эпитаксии. Система оснащается криогенными панелями для улучшения процесса откачки вакуума.

Mantis Deposition M600 может быть оснащена шлюзовой камерой для транспортировки образца без нарушения вакуума в основной камере. Держатель образца имеет возможность вращения (от 2 до 20 об/мин), нагрева (от 300° до 10000°С), охлаждения, наклона образца, а также задания постоянного и высокочастотного электрического смещения по току.

Базовое давление в камере M600 составляет 10-10 Торр.

Температура отжига камеры 2000°С.

М600 может быть оснащена следующими компонентами:

  • уникальным источником CORESHELL для создания наночастиц, имеющих ядро одного материала, окруженного оболочкой другого материала;
  • источниками наночастиц NanoGen и Nanogen Trio;
  • масс-фильтром MESOQ для отбора наночастиц по массам (а.е.м) и созданию точного потока наночастиц;
  • электронно-лучевыми испарителями Quad-EV и M-EV;
  • эффузионными ячейками COMCELL;
  • источниками газового крекинга MGC75;
  • источниками тигельного испарения TBS-2–800;
  • источниками магнетронного испарения CUSP;
  • атомарным источником MATS;
  • ионным источником RFMAX;
  • титан-сублимационным насосом;
  • ионным сублимационным насосом;
  • смотровыми портами;
  • датчиками толщины покрытия;
  • системами дифракции быстрых электронов;
  • держателем образцов (держатель образца имеет возможность вращения (от 2 до 20 об/мин), нагрева (от 300° до 10000°С), охлаждения, а также задания постоянного и высокочастотного электрического смещения по току);
  • шлюзовыми камерами для чистой транспортировки образца;
  • дроссельными заслонками для контроля давления в камере при процессе распыления;
  • вся вакуумная система может быть полностью автоматизирована с помощью программируемой платформы TITANIUM.

Информация предоставлена Экситон Аналитик, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ