Инструменты нанотехнологий

MDA-12SA. Полуавтоматическая установка совмещения и контактного экспонирования

Полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования подложек MDA-12SA — это идеальный инструмент для широкого диапазона применений, таких как производство оптоэлектронных компонентов, MEMS систем, светодиодов, столбиковых выводов для флип-чип приборов и других применений, где требуется высочайшая точность и гибкость процессов.

Установка совмещения и контактного экспонирования MDA-12SA сочетает в себе многофункциональность и высокое качество получаемых результатов.

Достоинства

  • Прецизионная точность совмещения 1 мкм
  • Высокое разрешение фотолитографии
  • Управление с персонального компьютера
  • Сенсорный монитор
  • Автофокусировка на образце
  • Моторизованный привод для перемещения по осям х, у, z
  • Возможность задания различной интенсивности УФ излучения для экспонирования
  • Уникальная система для компенсации «клина засветки» на воздушных подшипниках
  • Доступное увеличение микроскопа 130х-850х (опционально 1600х)
  • Антивибрационный стол
Спецификация
Характеристика Значение
Размер подложки до 14’’ х 14’’
Размер маски 15’’ х 15’’
Разрешение 1 мкм, при близком УФ и вакуумном контакте
Точность совмещения 1 мкм
Способ управления Полуавтоматическое совмещение, автоматическое экспонирование
Мощность УФ лампы 2000-5000 Вт, блок управления мощностью излучения
Интенсивность излучения при длине волны 365 нм максимальная 15–30 мВт/см2 (2 кВт), 25–60 мВт/см2 (5 кВт)
Интенсивность излучения при длине волны 400 нм максимальная 30-50 мВт/см2 (2 кВт), 50-100 мВт/см2 (5 кВт)
Размер однородного пучка излучения 13,25’’ х 13,25’’
Однородность УФ излучения 3–5%
Регулируемое время экспонирования от 0.1 до 999.9 сек с шагом 100 мс
Методы экспонирования Твердый, мягкий, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором
Совмещение подложек Модуль совмещения с моторизованным приводом перемещения по осям х, у, z (± 10 мм) и по углу θ (± 4°)
Выравнивание Компенсация клиновой ошибки
Опционально Датчик интенсивности УФ излучения, глубокий УФ

Информация предоставлена Евроинтех, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ