Инструменты нанотехнологий

Нанолаборатория для создания полупроводниковых приборов

ЗАО «Научное и технологическое оборудование» предлагает комплексно оснащенную, компактную «Нанолабораторию», предназначенную для создания широкого класса полупроводниковых приборов.

Полный набор технологического оборудования Нанолаборатории включает:

  • компактную установку молекулярно-лучевой эпитаксии (STE 75) в двух вариантах исполнения: для материалов А3В5/А2В6 и A3N;
  • установку физического осаждения с электронно-лучевым источником;
  • установку физического осаждения с магнетронным источником, снабженную шлюзом;
  • установки плазмохимического травления и нанесения с индуктивным и емкостным согласованными источниками плазмы;
  • установку длительной температурной обработки;
  • комплект необходимого контрольно-измерительного оборудования, оборудования для химии и фотолитографии;
  • документированные базовые технологические процессы;
  • расширенную современную программу обучения, включающую видеообучение, 3D-визуализацию технологического маршрута изготовления выделенных наноприборов, а также специализированные тренажёрные программы.

Особенности оборудования

  • Оборудование сориентировано на исследовательскую работу на подложках диаметром не менее 50,8 мм, при этом предусмотрена модернизация узлов оборудования с возможностью увеличения максимального диаметра подложки до 100 мм.
  • Установки унифицированы по типу держателей подложки.
  • Минимизированы эксплуатационные расходы для всех единиц оборудования.
  • Технологические реакторы установок оснащены смотровыми окнами для максимальной визуализации работы оборудования.
  • Графический интерфейс системы управления технологическим процессом выстроен с целью упрощения процесса последовательного обучения специалистов выполнению различных технологических операций.

Преимущества

  • В состав оборудования входит универсальная научная и производственная техника, наилучшим образом предназначенная для проведения лабораторных исследований и производственных работ в сфере нанотехнологий.
  • Полнота состава технологической линии обеспечивает замкнутый цикл изготовления выбранного полупроводникового наноприбора.
  • Нанолаборатория снабжена необходимой технологической документацией на техпроцессы.
  • Обеспечение постановки инновационного обучающего процесса на основе специальных обучающих программ.
  • Долгосрочная и своевременная техническая и технологическая поддержка.

Информация предоставлена ЗАО «Научное и технологическое оборудование»

Рубрикатор

Специальное предложение на конфокальный рамановский дисперсионный спектрометр Renishaw inVia
РОСНАНО - Государственная корпорация Роснанотех

Все проекты РОСНАНО

Последние поступления

Новости от RedTram

Поиск оборудования

A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V X Z А Б В Г Д Е И Л М Н О П Р С Т У Ф Э ВСЕ
Форма заказа оборудования

Текущие запросы

Требуется установка AX 6600-100

Требуется установка AX 6600-100 для изготовления алмазных плёнок на подложку (технология осаждения углерода из газовой фазы CVD).

Принята

Требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм по ГОСТ 17216

Нашему предприятию требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм ГОСТ 17216-2001 МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ, ЧИСТОТА ПРОМЫШЛЕННАЯ, Классы чистоты жидкостей. Должна быть возможность автоматического подсчета частиц.

В обработке

НаноСкан-Компакт

Добрый день! Прошу выслать коммерческое предложение на приобретение  прибора "НаноСкан-Компакт. Сканирующий нанотвердомер" с учетом его растаможки и доставки в г. Харьков. Украина. Заранее благодарю.

В обработке

ИК-Фурье спектрометр

Необходим прибор для анализа светлых нефтепродуктов и растворителей. Просим выслать на рассмотрение коммерческое предложение на прибор с доставкой в Московскую область. Есть ли гарантии и гарантийное обслуживание, обучение персонала.

В обработке