Инструменты нанотехнологий

NanoSAM. Оже-спектрометр

ООО «Группа Ай-Эм-Си» предлагает лабораторию NanoSAM для работы на сложных материалах от компании ScientaOmicron (Швеция — Германия).

Лаборатория NanoSAM является основным инструментом для анализа малых структур. Благодаря уникальной производительности электронной колонны Gemini сверхвысокого вакуума, NanoSAM гарантирует непревзойденное разрешение лучше 5 нм в сканирующей Оже микроскопии и лучше 3 нм в микроскопии вторичных электронов.

В отличие от других Оже-систем, NanoSAM обладает очень хорошим разрешением не только на стандартной энергии пучка в 20 кэВ, но и при энергии в 5 кэВ - разрешение в сканирующей Оже микроскопии при этой энергии остается лучше 10 нм. Режим низких энергий позволяет работать в диапазоне параметров, где сечения Оже высоки и хорошо документированы для количественного анализа.

Лаборатория NanoSAM предназначена как для быстрого и эффективного сбора данных с рутинных образцов, так и для гибкой работы в нетипичных диапазонах параметров на сложных материалах. Кроме того, функциональность NanoSAM может быть расширена с помощью методик дополнительного анализа ключевых характеристик образцов: кристаллической структуры (дифракция отраженных электронов) или структуры магнитных доменов (сканирующая электронная микроскопия с поляризационным анализом).

Другими особенностями NanoSAM являются: определение профиля распределения веществ по глубине, зарядовая нейтрализация, фокусируемый ионный пучок и электронно-лучевая литография.

Электронная колонна Gemini сверхвысокого вакуума:
  • высочайшее пространственное разрешение
  • наименьший размер пятна электронного пучка
  • уникальная производительность в режиме низких энергий
  • эффективная микроскопия вторичных электронов
Электронный анализатор NanoSAM:
  • переменное разрешение по энергии
  • превосходная чувствительность, многоканальное детектирование
Пробоподготовка:
  • варьирование размера образца
  • изменение температуры образца в диапазоне (50-500) K
  • наклон плоскости образца ±60°

Информация предоставлена Группа Ай-Эм-Си, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ