Инструменты нанотехнологий

NanoView. 3D оптический профилометр

ООО «Интеллект» представляет точный бесконтактный оптический 3D-профилометр NanoView от компании Nanosystem (Южная Корея).

Оптические профилометры серии Nanoview являются идеальным решением для задач быстрого неразрушающего контроля поверхности для лабораторий и исследовательских центров. Приборы позволяют получать 3D-карты поверхности и осуществлять ее анализ.

Особенности:

  • Точный бесконтактный оптический 3D-профилометр
  • Быстрый неразрушающий анализ поверхности
  • Удобный интерфейс позволяет быстро произвести анализ поверхности для научных исследований
  • Аналитическое программное обеспечение делает систему гибкой в применении и перечне исследуемых объектов

Основные применения оптического профилометра NanoView:

  • LCD/TCP: высота, критические размеры, площадь, анализ дефектов
  • Сборка ИС/подложек/печатных плат: высота, ширина, глубина отверстий, объем
  • Полупроводники/МЭМС: высота, ширина, форма, шероховатость, анализ дефектов
  • Инженерия поверхности: шероховатость, контроль качества, дизайн формы и геометрии

Для построения 3D-карты поверхности по высоте системы NanoView использует стандартную технику белой сканирующей интерферометрии. Прецизионный вертикальный сканирующий датчик и камера захватывают интерферограммы поверхности, которые обрабатываются компьютером и преобразуются в эквивалентное 3D-изображение с нанометровым разрешением.

Модельный ряд

В модельном ряде доступны три модели, максимальный размер столика 100х100 мм, возможна их автоматизация. На выбор доступны следующие объективы: 2.5х, 5х, 10х, 20х, 50х, 100х.

Вертикальное разрешение: в режиме полного изображение: < 0,5 нм, в режиме изображения участка: < 0,1 нм

Латеральное разрешение: 0,2 ~ 0,4 мкм (в зависимости от объектива/поля зрения линз).

Программное обоспечение

Аналитическое программное обеспечение делает систему гибкой в применении и перечне исследуемых объектов. Программное обеспечение позволяет осуществлять:

  1. Анализ профиля (высота ступеньки, глубина, ширина, угол, шероховатость; информация о площади (площадь, объем, средняя высота); фильтрование шумов и компенсация наклона; сохранение данных (JPG, BMP, CSV, DAT))
  2. Анализ мультипрофиля (профиль и шероховатость мультилинии; сравнительный анализ; профиль (шероховатость, волнистость); функция формы отчета, определяемой пользователем)
  3. Быстрый 3D анализ (цветное 3D-отображение; различные 3D-настройки (увеличение, вращение, свет, многовидовость); легкое измерение высоты и ширины простым нажатием кнопки)
  4. Сшивание
Технические характеристики
Модель NV-1800 NV-2400 NV-2700

Метод измерения

Белая сканирующая интерферометрия/

Интерферометрия фазового сдвига

Поле зрения линз

1,0х (по умолчанию)

1,0х (по умолчанию)

1,0х (по умолчанию)

Интерферометрические объективы

Доступна одна линза

Доступны 5 линз (ручной турель)

Доступны 5 линз (моторизованная турель)

Освещение

Освещение белым СИД

Диапазон сканирования

Макс. 270 мкм (пьезоэлектрическое сканирование)

Скорость сканирования

≤ 12 мкм/сек (1х ~ 5х – выбирается пользователем)

Наклон/Поворот

± 3° (Наклон/поворот столика)

Наклон/поворот зонда ± 6° (опционально: моторизация)

Вертикальное разрешение

В режиме полного изображение: < 0,5 нм

В режиме изображения участка: < 0,1 нм

Латеральное разрешение

0,2 ~ 0,4 мкм (в зависимости от объектива/поля зрения линз)

Повторяемость шага высота

<0,2% при 1σ

<0,1% при 1σ

Столик образцов

50х50 мм (ручной)

100х100мм (моторизованный)

100х100мм (моторизованный)

Ход по оси Z

30 мм (ручной)

100 мм (ручной)

100 мм (моторизованный)

Условия окружающей среды

Температурный диапазон: от 15 до 30 °С (диапазон измерения < 1°С за 15 мин.), диапазон влажности < 60%

Программное обеспечение

NanoView, NanoMap

Компьютер

Операционная система: Window 7

ОПЦИИ

Поле зрения линз

0.5х, 0.75х, 1х, 1.5х, 2х (на выбор)

Интерферометрические объективы

2.5х, 5х, 10х, 20х, 50х, 100х (на выбор)

Столик образцов

-

200х200 мм (моторизованный)

200х200 мм (моторизованный)

Диапазон сканирования

Макс. 10 мм доступно (моторизованное сканирование)

Конфигурация системы

Конфигурация системы

Габариты системы

Габариты системы

Информация предоставлена Интеллект, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ