Инструменты нанотехнологий

NexDep. Установка вакуумного напыления (PVD)

Компактная установка вакуумного напыления NexDep компании Angstrom Engineering Inc. для различных применений. Система может быть сконструирована согласно требованиям заказчика.

Система NexDep может быть адаптирована под любой процесс:

  • резистивное термическое испарение,
  • магнетронное распыление или электронно-лучевое напыление,
  • ионное напыление.

Предусмотрена возможность установки нескольких разных процессов в одной камере.

Описание

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation),
магнетронное напыление (sputter deposition),
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation),
ионное напыление (ion-assisted deposition)
Обзор:
Камера D-образной формы с закрепленной на петлях дверью, габариты: ø400 мм, высота 475 мм
Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция)
Дизайн согласно требованиям заказчика к процессам
Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере
Площадь занимаемая системой — 600х1000 мм
Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов
Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления
Диаметр обрабатываемых подложек до 200 мм (пластины большего диаметра по запросу)
Обучение работе на системе на заводе
1 год гарантии
Контроль вакуума:
Автоматический форвакуумный насос
Сухие насосы (опция)
Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом
Пневматически воздушный фильтр
Управление процессом осаждения:
теневая маска и выравнивание подложки
легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса
датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом
конфигурация для реализации процесса соосаждения — co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)
QCM — изолированный датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников
Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления
Нагрев подложки, охлаждение и дополнительное смещение на подложку
Планетарное вращение

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена МИНАТЕХ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ