Инструменты нанотехнологий

Caliper elan - эффективное решение для измерений ошибок совмещения слоев (overlay-контроль) на пластинах диаметром 300 мм

Caliper élan – последняя и наиболее совершенная полупроводниковая overlay-система производства фирмы Nanometrics. Elan основан на оригинальной overlay-системе Caliper и представляет собой наиболее эффективное и экономичное решение для используемого в настоящее время технологического процесса 90 нм, а в дальнейшем для технологии 65 нм и менее.

Caliper élan основан на хорошо зарекомендовавшей себя в условиях производства платформе Caliper, которая была укомплектована улучшенным оптическим измерительным модулем с усовершенствованными фокусировкой и алгоритмами. Как результат, сокращение времени измерения в одной точке на более чем 50% и уменьшение погрешности overlay-измерений на 50%.

Характеристики

  • Производительность: до 180 пластин в час
  • Эксплуатационные характеристики: точность ≤ 1 нм
  • Управление: Linux

Возможности и преимущества overlay-измерений для пластин диаметром 300 мм

  • Специально разработанная оптика и лучшая в своем классе система обработки изображения ClearVision.
  • Новая система ClearFocus для быстрой и точной фокусировки на всех уровнях.
  • Новое программное обеспечение улучшает измерения на трудных слоях.
  • Самая высокая производительность среди систем этого класса, достигаемая в том числе за счет установки двух роботов для автоматизации работы с пластинами, а также гибкая конфигурация загрузочных портов (поддерживается до 4 портов).
  • Гарантированная работоспособность одного и того же рецепта измерений на разных установках.
  • Идеальная автоматизация производства: соответствует всем основным спецификациям автоматизации технологии для 300 мм пластин.
  • Удобный пользовательский интерфейс – уменьшает время обучения и создания рецептов измерений.
  • Автоматическое создание рецептов и возможность их автономного редактирования – повышает эффективность.
  • Устойчивая операционная система Linux, обеспечивающая высокую надежность.
  • Техническая поддержка по всему миру специалистами Accent, имеющими богатый опыт в полупроводниковых overlay-измерениях.

Гарантированный перенос overlay-измерений

Caliper élan обеспечивает гарантированное соответствие результатов измерений разных установок и простоту переноса алгоритмов измерений. Отпадает необходимость в какой-либо калибровке или оптимизации, что сводит к нулю время переноса рецептов измерений и увеличивает тем самым работоспособность системы без ущерба для точности, надежности или производительности. Необходимо просто перенести программы на нужную установку и можно приступать к работе без дополнительных затрат времени на калибровку и их редактирование. Таким образом повышается производительность системы и снижается время окупаемости.

Caliper élan поддерживает полностью автоматический генератор рецептов, использующий данные центра управления производства или любой другой внешней компьютерной системы. Надежные, качественные рецепты создаются буквально за несколько секунд.

Синтетический генератор рецептов SynRG

Синтетический генератор рецептов (SynRG) – приложение для Caliper élan, предназначенное для создания алгоритмов измерения и не требующее наличия тестового образца. После получения деталей конструкции устройства SynRG обрабатывает их для создания алгоритма измерения, автоматически оптимизированного под продукт и процесс. Используя передовые методы симуляции изображений, SynRG может моделировать реальные картины и генерировать рецепты, устойчивые к отклонениям, которые обычно встречаются в полупроводниковой промышленности.

Система фокусировки ClearFocus

истема ClearFocus обеспечивает точную и повторяемую фокусировку на всех технологических слоях с высокой производительностью. Как показывают данные эксплуатации системы, ClearFocus улучшает точность измерений на 30%, при этом значительно улучшая разрешение на слоях с низким контрастом. Это относится ко всем стандартным видам меток.

Caliper elan - overlay-система для пластин диаметром 300 мм

Caliper elan - overlay-система для пластин диаметром 300 мм

Информация предоставлена ООО «Сигм плюс»

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ