Инструменты нанотехнологий

IVS 185. Система для оверлей-измерений

IVS 185 - система для измерения ошибок совмещения и определения критического размера для полупроводникового производства и MEMS. Диаметр пластин от 75 до 200 мм.

Главное преимущество IVS 185 - это его абсолютная надежность и стабильность. Гарантированное среднее время безотказной работы - 1800 часов. Единственное требование к поддержанию рабочего состояния системы заключается в ежеквартальном техническом обслуживании и 30-минутной замене лампы, рассчитанной на полгода работы.

Система IVS 185 является лучшей в данной отрасли благодаря оптимальной доступности и бесперебойной работе в течение долгого времени. Надежная система подачи и навигации пластин не требует присутствия оператора в процессе выполнения программы. Рецепты и данные остаются стабильными с течением времени.

Универсальная система подачи пластин приспособлена под множество вариантов строения образцов, в том числе под кварц, стекло, GaAs и разрезанные пластины различных размеров.

Другим уникальным свойством системы IVS 185 является наличие элемента Multi-Z, который позволяет проводить измерения одновременно на нескольких (до 4) плоскостях. Multi-Z также может проводить одновременно не менее 10 отдельных измерений, что увеличивает скорость сбора данных и производительность.

IVS 185 обеспечивает уникальную возможность измерения критического размера и ошибок совмещения на всех слоях с помощью единого рецепта. Специальные алгоритмы для MEMS позволяют работать с широким спектром MEMS-структур. Высокая точность и надежность IVS 185 выделяют эту систему среди конкурентов.

Информация предоставлена ООО «Сигм плюс»

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ