Инструменты нанотехнологий

ИНТЕГРА Прима. Базовая модель СЗМ платформы ИНТЕГРА

Базовая модель. Предоставляя возможности для изучения физических свойств поверхности с использованием практически любых применяемых сегодня методов Сканирующей Зондовой Микроскопии на атомно-молекулярном уровне, одновременно является основой для формирования других, более специализированных комплексов.

ИНТЕГРА Прима — это многофункциональный прибор для решения наиболее типовых задач в области Сканирующей Зондовой Микроскопии. В возможности прибора входит более 40 измерительных методик, что позволяет изучать физические и химические свойства поверхности образца с высокой точностью и разрешением. Возможно проведение измерений в различных средах - на воздухе, в контролируемой атмосфере, в жидкости. Управляющая электроника нового поколения позволяет работать в высокочастотных режимах (до 5 мГц). Эта возможность оказывается принципиальной при работе с высокочастотными модами Атомно-Силовой Микроскопии или использовании высокочастотных кантилеверов.

В ИНТЕГРА Прима реализовано несколько режимов сканирования – сканирование образцом, сканирование зондом и двойное сканирование. За счет этого система идеально подходит как для исследования небольших образцов со сверхвысоким разрешением (атомарно-молекулярный уровень), так и для больших образцов и диапазона сканирования 100х100х10мкм. Уникальный режим двойного сканирования DualScan TM позволяет изучать еще большие области на поверхности образца до 200х200 мкм по X,Y и до 22мкм по Z, что может быть полезно, например, для живых клеток или компонентов МЭМС.

Встроенные емкостные датчики обратной связи по всем трем координатам отслеживают реальное перемещение сканера и компенсируют такие неизбежные совершенства пьезокерамики как нелинейность, гистерезис и крип. Используемые в оборудовании НТ-МДТ датчики имеют самый низкий уровень шума, что позволяет работать с включенным контролем обратной связи даже на малых полях – до 10х10нм. Это особенно ценно для проведения наноманипуляций и при работе в режимах литографий. В ИНТЕГРА Прима используется встроенная оптическая система с разрешением до 1 мкм, что позволяет наблюдать за процессом сканирования в реальном времени. За счет открытой архитектуры функциональность ИНТЕГРА Прима может быть существенно расширена. Это могут быть специализированные магнитные измерения с внешним магнитным полем, высокотемпературные исследования, ближнепольная оптическая микроскопия, Раман спектроскопия и т.д.

Особенности

  • Наличие емкостных датчиков перемещения (closed loop control) с самым низким уровнем собственного шума (могут быть использованы на полях сканирования <100 нм!)
  • Оптический микроскоп с разрешением до 1 мкм
  • Возможность осуществлять сканирование как образцом (наименьший уровень шумов, наилучшее разрешение на малых полях сканирования), так и зондом (максимальный диапазон сканирования, возможность работы с массивными образцами)
  • Более 40 измерительных методик, включая уникальные
  • Возможность проведения измерений на воздухе, в контролируемой атмосфере, жидкости
  • Возможность наращивать функциональность

Измерительные методики

На воздухе: СТМ/ СТС/ АСМ (контактная + "полуконтактная" + бесконтактная)/ ЛСМ/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ Отображение Сопротивления Растекания/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ МЗК/ Отображение Сил Адгезии/ АСМ Силовая Литография (наногравировка+наночеканка), АСМ Токовая Литография (анодное оксидирование), СТМ Литография / Акустическая АСМ (АСАМ) / Силовая Микроскопия Пьезоотклика

В жидкости: АСМ (контактная + "полуконтактная")/ ЛСМ/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ Микроскопия Сил Адгезии/ АСМ Литография

Применение

Биология и Биотехнология
Протеины, ДНК, вирусы, бактерии, эукариоты, ткани
Материаловедение
Морфология поверхности, локальные механические, пьезоэлектрические, адгезионные и трибологические характеристики
Магнитные Материалы
Доменные структуры, магнитные частицы, магнитные пленки и многослойные структуры, устройства спинтроники, зависимость магнитных свойств от внешнего магнитного поля
Полупроводники
Морфология подложек, распределение примесей, гетерограницы и границы p-n переходов, межфазные границы, качество и толщины функциональных слоев
Полимеры и Тонкие Органические Пленки
Сферулиты и дендриты, полимерные монокристаллы, блок-сополимеры, политмерные наночастицы, ЛБ-пленки, тонкие пленки
Запоминающие среды и устройства
CD, DVD диски, накопителя терабитных ЗУ с термомеханической, электрической, емкостной и др. типами записи
Наноматериалы
Нанопорошки, нанокомпозиты, нанопористые материалы
Наноструктуры
Фуллерены, нанотрубки, нанокапсулы
Наноэлектроника
Квантовые точки
Нанообработка
АСМ литография: силовая (наногравировка и наночеканка), токовая (Локальное анодное оксидирование), СТМ литография
Наноманипуляции
Перемещение и ориентирование нанообъектов

Дополнительные возможности

  • Оптическая система с разрешением до 0,4 мкм
  • Возможность работы в низком вакууме 10-2 Торр
  • Нагревание образца до 3000 С с точностью поддержания температуры 0,050С
  • Измерение фемто-амперных токов, диапазон 30fA - 100pA
  • Измерения в жидкости с возможностью подогрева до 600 С
  • Электрохимические АСМ и СТМ измерения
  • Уникальная методика Атомно-Силовой Акустической Микроскопии (АСАМ)
  • Контактная Сканирующая Емкостная Мода
  • Регистрация быстрых сигналов
  • Наноиндентация
Конфигурации

Для СТМ измерений

СТМ головка с предусилителем на дипазон токов 30pA-50nA. Конструкция головки предусматривает возможность использования видеомикроскопа с 1 мкм разрешением. В данной конфигурации сканирования осуществляется образцом.

Для Атомно-Силовой Акустической Микроскопии

Данная конфигурация особенно полезна для материаловедческих исследований и позволяет с высоким пространственным разрешением определять локальные значения модуля Юнга.

Для высокотемпературных измерений

Данная конфигурация позволяет проводить измерения с нагревом образца до 300 град. С при точности поддержания температуры 0.05 град. С.

С Оптикой Высокого Разрешения

Уникальная конфигурация, позволяющая в процессе сканирования проводить наблюдение участка образца непосредственно под зондом с разрешением 0.4 мкм.

Дополнительные материалы:

Базовое оборудование:

Информация предоставлена НТ-МДТ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ