Инструменты нанотехнологий

НаноФаб 100. Модульная технологическая платформа для формирования нанотехнологических комплексов

НаноФаб 100 — сверхвысоковакуумный научно-технологический комплекс, предназначенный для разработки и создания элементов наноэлектроники, а также для проведения фундаментальных исследований в этой области.

НАНОФАБ 100 является модульной технологической платформой для формирования нанотехнологических комплексов (НТК) с кластерной компоновкой, включающих технологические установки с возможностями групповых и нанолокальных методов обработки подложек диаметром до 100 мм.

При формировании НТК кластеры связываются в технологические цепочки через модули межоперационной передачи и складирования образцов. Это позволяет на основе платформы НаноФаб 100 создавать Нанофабрики для создания полнофункциональных наноструктур, наноустройств и наносистем на их основе.

Комплекс НаноФаб 100 ориентирован на то, чтобы в полностью автоматическом режиме подвергать один и тот же образец разного рода воздействиям (теми методами, которые сейчас используются для создания микроэлектроники, только с предельным разрешением на один-два порядка больше). Подходит для организации мелкосерийного производства.

В настоящее время завершена разработка второго поколения данной платформы, не имеющая аналогов в мире по производительности и доступному набору методов воздействия.

Применение

Области применения НТК НаноФаб 100 покрывают практически все поле нанотехнологических исследований и разработок, связанных с твердотельными наноматериалами, наноструктарами и наноустройствами. Спектр возможностей НаноФаб 100 простирается от проведения фундаментальных исследований до отработки отдельных технологических приемов и моделирования наноэлектронных устройств. Применяемые компоновочные схемы, система управления и развитая транспортная система НТК НаноФаб 100 позволяюет применять их также и для мелкосерийного производство наноструктур и наноустройств. Координатно-связанная система позиционирования подложек позволяет создавать сложные многокомпонентные 3D наноустройства путем проведения в различных модулях последовательных нанотехнологических операций с нанометровым разрешением.

Особенности

Богатейшие возможности НаноФаб 100 реализуются за счет правильно выбранной кластерной компоновочной схемы – связь между образующими кластер функционально объединенными технологическими модулями осуществляется с помощью сверхвысоковакуумного радиального робота-раздатчика. Это обеспечивает минимальное время межоперационной передачи образцов и, соответственно, сохранение совершенно необходимой в нанотехнологии атомарной чистоты поверхности.

Наличие модулей передачи подложек с устройствами переворота обеспечивает возможность проведения сложных технологических циклов с включением групповых и нанолокальных процессов. Развитая транспортная система с модулями межоперационного хранения подложек позволяет в одном НТК НаноФаб 100 реализовать одновременно несколько технологических циклов на нескольких подложках. Помимо модулей в состав НаноФаб 100 входят также и отдельные технологические, контрольные, измерительные, аналитические и др. устройства. Модули платформы НаноФаб 100 могут функционировать как в составе НТК, так и автономно, в отдельных случаях, возможно, с использованием вспомогательных загрузочных устройств или модулей загрузки.

По составу платформы, транспортной системе, системе управления и гибкости формирования нанотехнологических комплексов платформа НаноФаб 100 не имеет аналогов в мировой практике.

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена ЗАО «НТ-МДТ»

Отправить сообщение представителю компании

Рубрикатор

Специальное предложение на конфокальный рамановский дисперсионный спектрометр Renishaw inVia
РОСНАНО - Государственная корпорация Роснанотех

Все проекты РОСНАНО

Последние поступления

Новости от RedTram

Поиск оборудования

A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V X Z А Б В Г Д Е И Л М Н О П Р С Т У Ф Э ВСЕ
Форма заказа оборудования

Текущие запросы

Требуется установка AX 6600-100

Требуется установка AX 6600-100 для изготовления алмазных плёнок на подложку (технология осаждения углерода из газовой фазы CVD).

Принята

Требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм по ГОСТ 17216

Нашему предприятию требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм ГОСТ 17216-2001 МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ, ЧИСТОТА ПРОМЫШЛЕННАЯ, Классы чистоты жидкостей. Должна быть возможность автоматического подсчета частиц.

В обработке

НаноСкан-Компакт

Добрый день! Прошу выслать коммерческое предложение на приобретение  прибора "НаноСкан-Компакт. Сканирующий нанотвердомер" с учетом его растаможки и доставки в г. Харьков. Украина. Заранее благодарю.

В обработке

ИК-Фурье спектрометр

Необходим прибор для анализа светлых нефтепродуктов и растворителей. Просим выслать на рассмотрение коммерческое предложение на прибор с доставкой в Московскую область. Есть ли гарантии и гарантийное обслуживание, обучение персонала.

В обработке