Инструменты нанотехнологий

НАНОФАБ 25. Модуль электронно-ионной спектроскопии (ЭИС)

Модуль электронно-ионной спектроскопии предназначен для анализа образцов размерами до 10×10×8 мм в условиях сверхвысокого вакуума (до 1.2×10-10 мбар).

Основная задача модуля — исследование образца методами рентгеновской и ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии, Оже-спектроскопии, спектроскопии рассеяния ионов. Модуль ЭИС может применяться в широкой области научной деятельности — в микро-, опто- и наноэлектронике, для анализа наноструктурных материалов и запоминающих сред, в химической технологии, для физико-химических исследований, в технологии материалов и т.п. Основу прибора составляет спектрометр характеристических потерь электронов, обеспечивающий регистрацию отраженных электронов с энергиями до 15 кэВ c выбранного участка образца.

Технические характеристики

Рентгеновские источники для Рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
Двойной анод — (Al/Ag),(Al/Mg)
Мощность в режиме расфокусировки — Al 400 Вт, Ag 600 Вт, Mg 300 Вт
Источник электронов для Оже-электронной спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии
Количество газовых магистралей — 6
Область энергий луча — от 1.0 to 25 кэВ
Диаметр электронного луча — 50 нм (100 нм гарантированно) при 10 кэВ и 10 нА токе луча, рабочий отрезок 25 мм
Поле зрения — до 1 мм x 1 мм при 25 мм рабочем отрезке и 25 кэВ энергии луча
Источник для ультрафиолетовой фотоэмиссионной спектроскопии
Источник способен производить излучение — H(La,Lb), He I, He II, Ne I, Ne II, Ar I, Ar II, Kr I, Kr II, Xe I и Xe II
Количество фотонов гелия — более 8x1015 фотонов/ср с при расходимости луча < +/- 1°
Ионный источник для Ионного рассеяния спектроскопии
Минимальный диаметр луча — < 125 мкм
Максимальный ионный ток — > 8 мкА
Энергия ионов — 0,2 кэВ – 5 кэВ
Переменная область сканирования — до 10 x 10 мм
Работа с газами — инертными и реактивными (подобно кислороду)
Анализатор для РФЭС, УФЭС, ОЭС, ИРС
Методика Разрешение и/с
РФЭС (XPS) Ag 3d5/2, Mg Kα , 15 кВ, 300 Вт 0.85 эВ 3,000,000
УФЭС (UPS) Ag валентная зона,
He I, (*) ширина уровня Ферми
(12 - 88%) при T=300 K		 140 мэВ 20,000,000
ОЭС (AES) Cu LMM, ток образца 20 нА (смещение +15 В), 5 кэВ 0.5 % 3,000,000
ИРС (ISS) Ag , ток образца 0.5 мкА (смещение +90 ), 2 кэВ, He+ 0.5 % 12,000,000

Базовое оборудование:

Информация предоставлена ЗАО «НТ-МДТ»

Отправить сообщение представителю компании

Рубрикатор

Специальное предложение на конфокальный рамановский дисперсионный спектрометр Renishaw inVia
РОСНАНО - Государственная корпорация Роснанотех

Все проекты РОСНАНО

Последние поступления

Новости от RedTram

Поиск оборудования

A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V X Z А Б В Г Д Е И Л М Н О П Р С Т У Ф Э ВСЕ
Форма заказа оборудования

Текущие запросы

Требуется установка AX 6600-100

Требуется установка AX 6600-100 для изготовления алмазных плёнок на подложку (технология осаждения углерода из газовой фазы CVD).

Принята

Требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм по ГОСТ 17216

Нашему предприятию требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм ГОСТ 17216-2001 МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ, ЧИСТОТА ПРОМЫШЛЕННАЯ, Классы чистоты жидкостей. Должна быть возможность автоматического подсчета частиц.

В обработке

НаноСкан-Компакт

Добрый день! Прошу выслать коммерческое предложение на приобретение  прибора "НаноСкан-Компакт. Сканирующий нанотвердомер" с учетом его растаможки и доставки в г. Харьков. Украина. Заранее благодарю.

В обработке

ИК-Фурье спектрометр

Необходим прибор для анализа светлых нефтепродуктов и растворителей. Просим выслать на рассмотрение коммерческое предложение на прибор с доставкой в Московскую область. Есть ли гарантии и гарантийное обслуживание, обучение персонала.

В обработке