Инструменты нанотехнологий

P-721 PIFOC® пьезонанопозиционер

P-721 PIFOC® пьезонанопозиционер — высокоскоростное устройство для нанофокусировки/сканирования. Позволяет проводить позиционирование и сканирование в диапазоне 100 мкм с субнанометровым разрешением и высокой линейностью.

Конструктивно P-721 PIFOC® состоит из неподвижной части и линейно перемещающейся по одной координате (вверх-вниз) подвижной части. Перемещение происходит посредством встроенного пьезопривода с емкостным датчиком обратной связи.

Использование емкостных датчиков является приоритетным для PI. Отсутствие физического контакта, и, как следствие, трения, в сочетании с менее чем нанометровым разрешением позиционирования, позволяет получить систему с очень высокой линейностью. Так же возможна установка тензодатчиков, что уменьшает стоимость системы.

Эта линейная платформа имеет возможность, как переместить расположенный на ней объектив на определенное расстояние (позиционирование), так и непрерывно перемещать его по определенному алгоритму, например вверх-вниз (сканирование).

Для применений, где необходим быстрый отклик при сохранении высокого разрешения, существуют системы открытого типа (без обратной связи).

В системе PIFOC® используются пьезоактуаторы PICMA® Установленные в защитный корпус, эти актуаторы имеют более высокие эксплуатационные характеристики и надежность, по сравнению со стандартными моделями.

Для задач, где требуются более значительные перемещения, компания PI предлагает систему нанофокусировки P-725 PIFOC®. У этого сканера диапазон перемещений может достигать, в зависимости от модели и схемы включения, до 400 мкм, при разрешении 0.5/1.25 нм в открытой и замкнутой схемах соответственно.

Технические характеристики
Характеристика Модель Погрешность
P-721.CLQ P-721.CDQ P-721.SL2 P-721.0LQ
Доступные направления перемещений Z Z Z Z  
Характеристики движения и позиционирования
Тип встроенного датчика Емкостный Емкостный SGS  
Диапазон перемещений при включении без обратной связи -20 до +120 В, мкм 140 140 140 140 мин (20% / 0%)
Диапазон перемещения при включении с обратной связью, мкм 100 100 100 калибруется
Разрешение при включении без обратной связи, нм 0.5 0.5 0.5 0.5  
Разрешение при включении с обратной связью, нм 0.7 0.7 5  
Линейность (при включении с обратной связью), % 0.03 0.03 0.2  
Точность повторного позиционирования, нм ±5 ±5 ±10  
Биение qx; qy, мкрад 13 13 13 13  
Перекрестная наводка Х, Y (crosstalk), нм 100 100 100 100  
Механические характеристики
Жесткость в направлении перемещения, Н/мкм 0.3 0.3 0.3 0.3 ±20%
Резонансная частота без нагрузки, Гц 580 580 580 550 ±20%
Резонансная частота с нагрузкой 120 г, Гц 235 235 235 235 ±20%
Резонансная частота с нагрузкой 200 г, Гц 180 180 180 180 ±20%
Толкающее/тянущее усилие в направлении перемещения, Н 100 / 20 100 / 20 100 / 20 100 / 20  
Характеристики привода
Тип керамики PICMA® P-885 PICMA® P-885 PICMA® P-885 PICMA® P-885  
Электрическая емкость, мкФ 3.1 3.1 3.1 3.1 ±20%
Динамический коэфициент рабочего тока, мкА/(Гц*мкм) 3.9 3.9 3.9 3.9 ±20%
Прочие условия
Диапазон рабочих температур, °С от -20 до +80 от -20 до +80 от -20 до +80 от -20 до +80  
Материал Алюминий Алюминий Алюминий Алюминий  
Масса, кг 0.24 0.24 0.22 0.22 ±5%
Максимальный диаметр объектива, мм 39 39 39 39  
Длина кабеля, м 1 1 1 1 ±10 мм
Подключение датчика / питания LEMO Sub-D special LEMO LEMO (нет датчика)  

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена Евротек Дженерал, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ