Park XE15. Атомно-силовой микроскоп

Park XE15 включает в себя множество уникальных возможностей, которые делают АСМ идеальным инструментом для лабораторий, работающих со множеством различных образцов, исследователей, выполняющих всевозможные эксперименты, инженеров, специализирующихся на выявлении дефектов в подложках. Разумная цена и надёжная конструкция делают его одним из самых лучших АСМ в индустрии для анализа крупных образцов.

Особенности

Уникальная система сканирования MultiSampleTM повышает продуктивность исследований

Максимизация эффективности при работе только с одним АСМ, который позволяет проводить измерения с множеством образцов в один проход. Достаточно загрузить предметный столик образцами и запустить процесс сканирования. Этот режим также позволяет сканировать образцы в идентичных условиях окружающей среды, повышая точность и надежность полученных данных.

Большой размер образца расширяет возможности

В отличие от многих АСМ Park XE15 способен сканировать образцы размером до 200мм×200мм. Это делает АСМ отличным инструментом для исследователей, которым требуется сканировать крупные образцы или специалистов, осуществляющих анализ дефектов, если необходимо устанавливать силиконовые подложки на предметный столик.

Режимы адаптации под любые потребности

Park XE15 располагает наиболее содержательным набором режимов сканирования и способен обрабатывать образцы в широком диапазоне размеров. Это делает его уникальным инструментом для лабораторий, решающих индивидуальные задачи.

Техническая информация

Наиболее удобные измерения образцов в режиме сканирования MultiScanTM

Система сканирования Park XE15 MultiSample™

• Автоматизированное отображение множества образцов в один проход
• Специально созданный зажим для загрузки в АСМ до 16 отдельных образов
• Полностью моторизированный предметный столик XY перемещается в диапазоне 200 мм × 200 мм

C помощью моторизированного предметного столика MultiSample ScanTM позволяет получить изображение нескольких зон образца в автоматизированном режиме. Вот как это работает:

1. Выбираются положения множественного сканирования
2. Получается изображение в первой точке сканирования
3. Поднимается кантилевер
4. Предметный столик перемещается в следующее положение, заданное оператором
5. Выполняется подведение кантилевера
6. Производится следующее сканирование

Регистрация положений множественного сканирования осуществляется путем ввода координат образец-столик или путем выравнивания положения образца по двум опорным точкам. Автоматизация увеличивает производительность за счет сокращения действий оператора в процессе сканирования.

Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех)

• Два независимых консольных сканера XY и Z с обратной связью для сканирования поверхности образца с использованием зонда.
• Плоское и ортогональное сканирование XY до 100мкм×100мкм с малым остаточным искажением.
• Очень высокое разрешение в плоскости с возможностью обнаружения сигнала менее 2нм во всем диапазоне сканирования.
• Сканирование вдоль оси Z сканером высокого усилия до 25 мкм.
• Точное измерение высоты без необходимости в дополнительной программной обработке.

Технология «Park’s Crosstalk Elimination» устраняет вероятность искажений и позволяет выполнить плоское ортогональное сканирование XY при любом расположении, скорости и размере скана. В этом случае отсутствует искажение фона даже на очень плоских поверхностях, например, оптической плоскости, и при различных смещениях сканов. Это позволяет добиться очень точного измерения высоты профиля и получить точную картину нанометрического диапазона для решения самых сложных задач при выполнении исследований и инженерных проектов.

Длительный срок службы зонда, точность и отсутствие повреждений на поверхности образца в режиме True Non-ContactTM

• Скорость сервопривода Z оси в 10 раз выше по сравнению с пьезотрубкой других АСМ.
• Минимальный износ зонда, гарантия получения высококачественного изображения с высоким разрешением в течение длительного периода времени.
• Высокое разрешение по сравнению с другими АСМ.
• Низкая интерференция для получения более точных сканов.

Режим True Non-ContactТМ сохраняет четкость показаний зонда

Наконечники (зонды) АСМ настолько хрупкие, что при их контакте с образцом происходит мгновенное снижение разрешения и качества изображения. При работе с мягкими и тонкими образцами зонд может повредить образец, это приведет к неточности измерений высоты профиля, повлечет рост затрат времени и денег. Уникальный режим True Non-ContactТМ АСМ существенно увеличивает разрешение и точность полученных данных при сохранении целостности самого образца.

Основные особенности

• Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 100 мкм × 100 мкм
• Консольный Z-сканер высокого усилия
• Удобное крепление головки SLD по направляющей
• Множественный зажим
• Моторизированный предметный столик XY
• Камера ПЗС высокого разрешения с цифровым увеличением
• Моторизированный Z и фокусный столики (автофокусирующая подача)
• Управление электроникой Park XE с панелью DSP в контроллере

Режимы работы

Имея в своем арсенале широкий набор режимов сканирования и модульную конструкцию, Park XE15 располагает мощностью и гибкостью, необходимой для выполнения любого проекта.

Стандартное изображение

• True Non-Contact AFM (реальный бесконтактный режим АСМ)
• Basic Contact AFM (основной контактный режим АСМ)
• Латеральная силовая микроскопия (LFM)
• Фазовое изображение

Химические свойства (опционально)

• Химическая силовая микроскопия с функциональным зондом
• Электрохимическая микроскопия (EC-STM и EC-AFM)

Температурные свойства (опционально)

• Сканирующая температурная микроскопия (SThM)

Электрические свойства (опционально)

• Режим проводимости АСМ
• Спектроскопия I-V
• Сканирующая микроскопия с зондом Кельвина (SKPM/KPM)
• Сканирующая микроскопия (SKPM) высокого напряжения
• Сканирующая емкостная микроскопия (SCM)
• Сканирующая микроскопия сопротивления растекания (SSRM)
• Сканирующая туннельная микроскопия (STM)
• Картографирование фототоком по времени (Tr-PCM)

Оптические свойства (опционально)

• Рамановская спектроскопия (TERS)
• Картографирование фототоком по времени (Tr-PCM)

Магнитные свойства (опционально)

• Магнитная силовая микроскопия (MFM)

Диэлектрические/пьезоэлектрические свойства (опционально)

• Электрическая силовая микроскопия (EFM)
• Динамическая контактная EFM (DC-EFM)
• Пьезоэлектрическая силовая микроскопия (PFM)

Механические свойства (опционально)

• Силовая модулирующая микроскопия (FMM)
• Наноидентификация
• Нанолитография

Силовое измерение (опционально)

• Силовая спектроскопия F-D
• Объемное силовое изображение