Инструменты нанотехнологий

QC3. Дифрактометр высокого разрешения

QC3 — дифрактометр высокого разрешения (HRXRD) для эпитаксиальных слоев (тонких пленок). Сконструирован для задач, требующих высокой пропускной способности.

QC3 — новейшая модель хорошо зарекомендовавших себя рентгеновских дифрактометров высокого разрешения QC серии, с более чем 20 летней историей, и сотнями установок по всему миру в отрасли составных полупроводников и исследованиях Si-Ge, а также на производственных линиях.

Идеальная система для разработки полупроводников и их контроля на производстве. Используется для измерений состава и толщины эпитаксиальных слоев большинства материалов. В системе используется стандартная запаянная трубка. В сочетании с различными кристаллами система может быть оптимизирована под получение наиболее высоких значений разрешения и интенсивности для любого приложения.

Дифрактометр QC3 дает возможность действительно автоматизированной работы, с прямым горизонтальным монтажом образца и полностью автоматизированными выравниванием, измерениями и анализом данных. Анализ данных может выполняться полностью автоматически или в режиме off-line, используя популярное программное обеспечение RADS. Предметный столик имеет зону перемещения по пластине 300 мм, позволяя, тем самым, проводить измерения на больших пластинах или нескольких более мелких пластинах. Опционально доступен роботизированный держатель для автоматизации загрузки и измерения из кассет.

Идеальный инструмент для рутинного анализа полупроводниковых подложек, эпитаксиальных структур и обрабатываемых пластин для всех составных полупроводниковых материалов.

Преимущества

  • Самая высокая пропускная способность на рынке.
  • Использует лучшее на рынке программное обеспечение Jordan Valley RADS для автоматизации анализа и обратной связи с производством.
  • Гибкий по возможностям, но при этом удобный и простой в эксплуатации.
  • Поддержка робота для загрузки (опция).
  • Основные покупатели: производители светодиодов и эпитаксиальных пластин.
  • Поддержка возможности исследования множества пластин на одном дисковом держателе.
  • Высокая работоспособность и надежность.

Высокая интенсивность дает более высокую точность даже при задачах, требующих высокой пропускной способности. Низкая стоимость владения, небольшие расходы на обслуживание. Программное обеспечение XRGProtect™ позволяет продлить срок службы трубки благодаря специальному режиму Eco, уменьшающему энергопотребление системы в момент, когда не проводятся измерения. Пакетное измерение пластин с опциональной возможностью загрузки роботом или дисковым держателем под разное количество пластин. Простота в использовании, не требуется наличия эксперта для запуска системы. Полностью автоматическое расположение, измерение и анализ пластин. Использует испытанное годами программное обеспечение RADS, лидирующее в отрасли, с возможностью автоматического анализа результатов и созданием отчетов.

Применение

Система QC3 подходит для большинства структур, основанных на полупроводниковых материалах, и других структур, включая, но не ограничиваясь:

  • GaN-светодиодные и лазерные структуры
  • Материалы, основанные на элементах III-V, II-VI и IV-IV групп
  • Материалы, основанные на Si
  • Гетеропереходные биполярные транзисторные структуры на основе SiGe
  • Однослойные и многослойные эпитаксиальные пленки
  • Структуры на многоквантовых ямах
  • Структуры со сверхрешеткой

Спецификация

Основное
Компактный дифрактометр высокого разрешения
Горизонтальное крепление образца на съемные держатели — вплоть до 300 мм
Сканирование по всему 300 мм образцу, либо по всем участкам специального дискового держателя с отверстиями для пластин различного размера
Доступна преднастройка системы для материалов с малым содержанием дислокаций, таких как GaAs, InP, и основанных на Si соединений, и материалов с более высокой плотностью дефектов, таких как GaN и ZnO.
EDRc детектор
Трехосевое решение как стандарт
Опция загрузки роботом
Корпус
Стальной корпус
Простой доступ к образцу
Система блокировки рентгеновских лучей, безотказная заслонка и лампы предупреждения
Размеры (прибл.): 1x1 м

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена Technoinfo Limited

Отправить сообщение представителю компании

Рубрикатор

Специальное предложение на конфокальный рамановский дисперсионный спектрометр Renishaw inVia
РОСНАНО - Государственная корпорация Роснанотех

Все проекты РОСНАНО

Последние поступления

Новости от RedTram

Поиск оборудования

A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V X Z А Б В Г Д Е И Л М Н О П Р С Т У Ф Э ВСЕ
Форма заказа оборудования

Текущие запросы

Требуется установка AX 6600-100

Требуется установка AX 6600-100 для изготовления алмазных плёнок на подложку (технология осаждения углерода из газовой фазы CVD).

Принята

Требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм по ГОСТ 17216

Нашему предприятию требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм ГОСТ 17216-2001 МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ, ЧИСТОТА ПРОМЫШЛЕННАЯ, Классы чистоты жидкостей. Должна быть возможность автоматического подсчета частиц.

В обработке

НаноСкан-Компакт

Добрый день! Прошу выслать коммерческое предложение на приобретение  прибора "НаноСкан-Компакт. Сканирующий нанотвердомер" с учетом его растаможки и доставки в г. Харьков. Украина. Заранее благодарю.

В обработке

ИК-Фурье спектрометр

Необходим прибор для анализа светлых нефтепродуктов и растворителей. Просим выслать на рассмотрение коммерческое предложение на прибор с доставкой в Московскую область. Есть ли гарантии и гарантийное обслуживание, обучение персонала.

В обработке