Инструменты нанотехнологий

QC-RT. Система рентгеновской топографии

Система рентгеновской топографии (XRDI) для определения кристаллических дефектов структурированных и сплошных пластин Jordan Valley QC-RT.

QC-RT — новейшая система для метрологии дефектов. Она служит для разрешения возникающих проблем при производстве пластин. Приложения включают в себя мониторинг скрытых дефектов для предотвращения повреждения дорогостоящих пластин в процессе сверхбыстрого отжига. Система может быть использована в любой технологической линии, включая 90 нм и ниже. Эта система является самым мощным решением для обнаружения и контроля кристаллографических дефектов при анализе поступающих пластин и во время процессов металлизации.

Преимущества

  • Обнаружение сдвига на 300 мм пластинах в течение нескольких минут (для устранения наложений)
  • Определение трещин, которые могут стать причиной дальнейших поломок
  • Определение дислокаций на пластинах во время производства без травления
  • Запатентованная, полностью цифровая система топографии
  • Сканирование всей 300 мм области; с возможностью быстрого грубого сканирования как выбранных областей, так и всей площади пластины
  • Возможно устанавливать части 450 мм пластин
  • Мониторинг дефектов вплоть до отдельных дислокаций, отдельного атома или их последовательности (<1 нм) при любом допировании и обработки обратной стороны пластины
  • Уникальная система мониторинга границы запретной зоны
  • Возможность использования с разными типами кристаллических подложек
  • Эфективность системы при низком энергопотреблении

Применение

  • Si подложки и эпитаксиальные слои
  • Структурированные пластины
  • III-V, II-VI и IV-IV подложки
  • SiC подложки и GaN эпитаксиальные слои
  • Толстые подложки

Спецификация

  • Система блокировки рентгеновского излучения, отказоустойчивый затвор и сигнальные лампы
  • Разрешение камеры от 2.7 мкм
  • Режимы работы камеры: высокое разрешение, высокая скорость
  • Микрофокусные генераторы, работающие при 50 Вт для малого энергопотребления

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена Technoinfo Limited

Отправить сообщение представителю компании

Рубрикатор

Специальное предложение на конфокальный рамановский дисперсионный спектрометр Renishaw inVia
РОСНАНО - Государственная корпорация Роснанотех

Все проекты РОСНАНО

Последние поступления

Новости от RedTram

Поиск оборудования

A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V X Z А Б В Г Д Е И Л М Н О П Р С Т У Ф Э ВСЕ
Форма заказа оборудования

Текущие запросы

Требуется установка AX 6600-100

Требуется установка AX 6600-100 для изготовления алмазных плёнок на подложку (технология осаждения углерода из газовой фазы CVD).

Принята

Требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм по ГОСТ 17216

Нашему предприятию требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм ГОСТ 17216-2001 МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ, ЧИСТОТА ПРОМЫШЛЕННАЯ, Классы чистоты жидкостей. Должна быть возможность автоматического подсчета частиц.

В обработке

НаноСкан-Компакт

Добрый день! Прошу выслать коммерческое предложение на приобретение  прибора "НаноСкан-Компакт. Сканирующий нанотвердомер" с учетом его растаможки и доставки в г. Харьков. Украина. Заранее благодарю.

В обработке

ИК-Фурье спектрометр

Необходим прибор для анализа светлых нефтепродуктов и растворителей. Просим выслать на рассмотрение коммерческое предложение на прибор с доставкой в Московскую область. Есть ли гарантии и гарантийное обслуживание, обучение персонала.

В обработке