Инструменты нанотехнологий

QC-Velox. Дифрактометр высокого разрешения

Система Jordan Valley QC-Velox — рентгеновский дифрактометр высокого разрешения последнего поколения, предназначенный для эпитаксиальных слоев (тонких пленок), преимущественно для светодиодов, фотовольтаики, а также для производства пластин из эпитаксиальных слоев. Прибор сконструирован для задач, требующих сверхвысокой пропускной способности, массового производства.

Рентгеновский дифрактометр высокого разрешения QC-Velox сочетает в себе высокую производительность с отличной воспроизводимостью и обеспечивает быструю обратную связь при анализе качества слоев и их структуры.

Система QC-Velox построена по технологии HRXRD последнего поколения для получения максимальной производительности на рынке систем для HRXRD.

После накопления данных, часто в течение нескольких секунд, эти данные автоматически анализируются при использовании ПО JV RADS — самого популярного программного продукта для анализа в высокоразрешающей рентгеновской дифракции.

Результаты записываются в настраиваемый пользователем отчет, который включает в себя информацию о слое, а также статистические данные о пластине. Другая полезная информация, такая как прогиб пластины и радиус кривизны также может быть включена в отчет. Отчет сохраняется локально, высвечивается на экране монитора и может быть сохранен по сети в удобное для дальнейшего использования место.

QC-Velox имеет решающее значение для всех процессов, связанных с ростом эпитаксиальных структур. Обычно выращивание выполняется по технологии MOCVD, но в такой же степени метрология необходима для MOVPE и MBE.

Преимущества

  • Усовершенствованный рентгеновский дифрактометр высокого разрешения, предназначенный для производств светодиодов, фотовольтаики и эпитаксиальных слоев.
  • Технология HRXD нового поколения
  • Самая высокая интенсивность на рынке:
    • Сверхвысокая производительность для массового производства
    • Самые быстрые измерения с очень высокой точностью и воспроизводимостью
  • Разработан в соответствии со стандартами SEMI (робот, чистота)
  • Устройство считывания Bar-code позволяет быстро и безошибочно осуществлять загрузку пластин
  • Кинематические пластины под образцы (включая 31x2”) упрощают работу и увеличивают производительность
  • Видеокамера позволяет просматривать аналитическую камеру в процессе работы
  • QC-Velox основан на технологии QC3

Применение

Система QC-Velox подходит для большинства полупроводниковых структур, включая приложения указанные ниже, но не ограничиваясь ими:

  • Светодиоды на GaN и структуры для лазеров
  • Материалы, основанные на элементах III-V, II-VI и IV-IV групп
  • Материалы, основанные на Si
  • Структуры биполярных гетеротранзисторов, основанные на SiGe
  • Однослойные и многослойные эпитаксиальные пленки
  • Структуры на квантовых ямах
  • Структуры со сверхрешеткой

Спецификации

Основные характеристики
Компактный дифрактометр высокого разрешения
Горизонтальное расположение образцов на съемных держателях — образцы диаметром вплоть до 300 мм
Возможность сканирования всей поверхности (300 мм) при использовании специальных пластин для образцов с различным количеством ячеек для образцов различных размеров
Предварительно расположенные формирователи пучка для материалов с малым содержанием дислокаций, таких как GaAs, InP, и соединения, основанных на Si, и материалов с более высокой плотностью дефектов, таких как GaN и ZnO.
Детектор с высоким динамическим диапазоном
Triple Axis как стандарт
Считывание Bar-code для загрузки образцов
Доступна опция роботизированной загрузки
Корпус
Корпус выполнен из стали
Легкий доступ к образцу
Система блокировки рентгеновского излучения, отказоустойчивый затвор и предупреждающие лампы
Размеры (прибл.): 1×1 м

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена Technoinfo Limited

Отправить сообщение представителю компании

Рубрикатор

Специальное предложение на конфокальный рамановский дисперсионный спектрометр Renishaw inVia
РОСНАНО - Государственная корпорация Роснанотех

Все проекты РОСНАНО

Последние поступления

Новости от RedTram

Поиск оборудования

A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V X Z А Б В Г Д Е И Л М Н О П Р С Т У Ф Э ВСЕ
Форма заказа оборудования

Текущие запросы

Требуется установка AX 6600-100

Требуется установка AX 6600-100 для изготовления алмазных плёнок на подложку (технология осаждения углерода из газовой фазы CVD).

Принята

Требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм по ГОСТ 17216

Нашему предприятию требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм ГОСТ 17216-2001 МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ, ЧИСТОТА ПРОМЫШЛЕННАЯ, Классы чистоты жидкостей. Должна быть возможность автоматического подсчета частиц.

В обработке

НаноСкан-Компакт

Добрый день! Прошу выслать коммерческое предложение на приобретение  прибора "НаноСкан-Компакт. Сканирующий нанотвердомер" с учетом его растаможки и доставки в г. Харьков. Украина. Заранее благодарю.

В обработке

ИК-Фурье спектрометр

Необходим прибор для анализа светлых нефтепродуктов и растворителей. Просим выслать на рассмотрение коммерческое предложение на прибор с доставкой в Московскую область. Есть ли гарантии и гарантийное обслуживание, обучение персонала.

В обработке