Инструменты нанотехнологий

Quanta™ 3D DualBeam™. Сканирующий электронный микроскоп

Многофункциональный растровый элеектронный микроскоп с интегрированной системой фокусированного ионного пучка для структурной диагностики и автоматизированных исследований в промышленных и лабораторных условиях.

Серия Quanta™ 3D DualBeam™ (FEI Company) — сочетает в себе традиционную Сканирующую Электронную Микроскопию(СЭМ) теплового излучения с Сфокусированным Ионным Пучком (FIB) в дополнение к существующим инструментам лабораторного исследования и расширяет диапазон приложений для 3D исследования и наноанализа, ТЭМ пробоподготовки или структурной модификации поверхности образцов в нанометровом масштабе.

Quanta™ 3D DualBeam™ открывает новые возможности и эксплуатационную гибкость для инженеров и исследователей, испытывающих необходимость в получении характеристики материала, проведении анализа отказов или контроле процессов.

Модификации

Quanta 3D FEG

Quanta 3D FEG является наиболее универсальным высокого разрешения, низковакуумный СЭМ/FIB для 2D и 3D исследования материала и анализа. Обладая возможностью трех режимов съемки — высокого вакуума, низкого вакуума и ЕСЭМ, он вмещает широкий спектр образцов любой системы SEM. Quanta 3D FEG инновационный источник излучения электронов обеспечивает яркое и четкое изображение электрона, и увеличение потока электронного пучка улучшает результаты ЭЦП и EBSP анализа. Эта система также предлагает возможности для исследования на месте динамического поведения материалов на различных уровнях влажности (до 100% относительной влажности) и температуры (до 1500 ° С).

Quanta 3D

Quanta 3D открывает новые возможности и эксплуатационную гибкость для инженеров и исследователей, испытывающих необходимость в получении характеристики материала, проведении анализа отказов или управлении процессами в промышленности или научной среде. Он сочетает в себе традиционную Сканирующую Электронную Микроскопию (СЭМ) теплового излучения с Сфокусированным Ионным Пучком (FIB) в дополнение к существующим инструментам лабораторного исследования и расширяет диапазон приложений для 3D исследования и наноанализа, ТЭМ пробоподготовки или структурной модификации поверхности образцов в нанометровом масштабе. Quanta 3D отличается от обычных СЭМ интегрированными возможностями микро-секционирования необходимыми для изучения подповерхности образца. Quanta 3D спроектирована только для того, чтобы быть просто — 3D-СЭМ.

Quanta 3D 200i

Quanta 3D 200i является исследовательским инструментом, предназначенным для изучения материалов, проведения анализа дефектов и подготовки образцов в промышленной или научной среде. Объединяя Quanta сканирующий электронный микроскоп (SEM) с сильноточным сфокусированным пучком ионов (FIB), создается универсальное решение для анализа и модификации материалов, простое в использовании и обладающее достаточной гибкостью, чтобы справиться с любым типом образцов. Вольфрамовый СЭМ с увеличенной проводимостью обеспечивает идеальную визуализацию субмикронных структур, в то время как высокоточная ионная колонка может быть использована для точной подготовки образца путем удаления или сдачи материала быстрыми темпами в малых определенных областях. Quanta 3D 200i даст Вашей лаборатории возможность изучения нового способа быстрого приготовления образца, 3D наноанализа, ТЭМ, ESBD и подготовки образца для атомного зонда или структурной модификации поверхности образцов в нанометровом масштабе.

Спецификации

Quanta 3D 200i
Электроннолучевое разрешение: 3.5 nm @ 30 kV @ режим высокого вакуума
Ускоряющее напряжение: 200V — 30kV
Ток: до 1 μA
Ионнолучевое разрешение: 10 nm @ 30 kV @ 1 pA
Quanta 3D FEG
Electron Beam Resolution:
  • 1.2nm at 30kV (high SE)
  • 1.5nm at 30kV(low SE)
Accelerating Voltage: 200V — 30kV
Probe Current: up to 200nA
Magnification: 30 x — 1280 kx in «quad» mode
Ion Beam Resolution: 7 nm at 30 kV

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена Technoinfo Limited

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ