Инструменты нанотехнологий

SENDURO. Автоматическая широковолновая измерительная система на базе спектроскопического эллипсометра

Высокопроизводительная автоматическая эллипсометрическая измерительная система SENDURO® на базе УФ-ВИД спектроскопического эллипсометра с возможностью сканирования. Спектральный диапазон: 290–850 нм.

SENDURO® — новый высокопроизводительный автоматизированный спектроскопический UV-VIS эллипсометр для измерения одно- и многослойных плёнок на прозрачных и поглощающих подложках.

Может применяться как в исследовательских целях, так и в массовом производстве.

Основные особенности и преимущества

  • Спектральный диапазон: 290–850  нм
  • Высокая скорость измерения образцов
  • Измерение толщин пленок от 1 нм до 10 000 нм (ультра-тонкие пленки)
  • Измерение оптических характеристик пленок
  • Полностью автоматическое выравнивание образца при измерении
  • Измерения на прозрачных и поглощающих подложках
  • Управление нажатием кнопки
  • Удобное программное обеспечение
  • Высокая точность измерений для любых образцов
  • Минимальная подготовка для инсталляции прибора
  • Не требует высокой квалификации оператора

Вся процедура измерения может занимать не более 10 секунд. Это время включает в себя все необходимые шаги для проведения анализа образца:

  1. Помещение образца (пластины или кусочка) на предметный столик
  2. Старт процедуры измерения нажатие клавиши ввода, где происходит:
    • автоматическое выравнивание;
    • непосредственно измерение;
    • расчет;
    • вывод результатов на дисплей;
  3. Изъятие образца с предметного столика

SENDURO поставляется с большой библиотекой предустановленных применений для анализа одно- и многослойных пленочных структур.

SpectraRay /3

В комплект поставки включен мощный пакет программного обеспечения SpectraRay /3 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение psi, delta, tan[psi], cos[delta], коэффициентов Фурье (S1, S2), интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения и угловой фазы. SpectraRay /3. обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

SENTECH опция маппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D-изображение распределения толщины с полной статистикой.

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена МИНАТЕХ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ