Инструменты нанотехнологий

Plasmalab Sputter modules. Система магнетронного напыления

Осаждение с магнетронным распылением мишени является одним из стандартных вариантов PVD для микроэлектронных технологий. Позволяет получать слои широкого спектра материалов от металлов до диэлектриков с контролируемой стехиометрией.

Системы магнетронного напыления серии Plasmalab System позволяют проводить процессы физического осаждения металлов, оксидов, нитридов и силицидов толщиной от 20 нм до нескольких микрон.

Гибкая конфигурация систем позволяет реализовать режимы распыления в постоянном (ПТ) и переменном токе (ВЧ), а также импульсный ПТ режим и режим реактивного распыления.

Подложкодержатель позволяет проводить как нагрев, так и охлаждение подложки, а также подавать ВЧ смещение для ионно-стимулированного осаждения и контроля стехиометрии осаждаемого материала.

Установка Plasmalab System 400 построена по карусельному принципу и позволяет обрабатывать подложки диаметром до 150 мм.

Для осаждения на подложки диаметром 200 мм предлагается модуль Plasmalab Sputter module с одним магнетроном, унифицированный с серией систем Plasmalab System 100.

Модули установки Plasmalab System 400 и Plasmalab Sputter module полностью совместимы по стандарту MESC. Поэтому модули Plasmalab могут быть использоваться в кластерной системе серии System 100 Pro или других кластерных системах совместимых со стандартом MESC.

Конфигурации Plasmalab System для магнетронного осаждения
  Plasmalab 400 Plasmalab Sputter module/td>
Загрузка шлюз шлюз
Подложки до 150 мм до 200 мм
Загрузка 8 х 50-100 мм/
4 х 150 мм
1 подложка
Количество и диаметр магнетронов до 6 х100 мм/
до 4 х 200 мм
1 х 250 мм
Питание магнетронов ПТ/ВЧ ПТ/ВЧ
Диапазон температур от -20°С до +80°С/
от +50°С до +300°С
от -20°С до +80°С/
от -140°С до +300°С (опция)
Поддув гелия под подложку нет опция
ВЧ смещение подложки опция опция
Линий газоподачи с РРГ до 8 до 8
Вакуумная система ТМН / криогенный насос ТМН / криогенный насос
Система управления PC2000 PC2000

Информация предоставлена ИНТЕК, Technoinfo Limited

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ