Инструменты нанотехнологий

STE RTA79. Установка быстрого термического отжига

ЗАО «Научное и технологическое оборудование» предлагает установку SemiTEq STE RTA79 для процессов быстрой температурной обработки полупроводниковых пластин.

Установка быстрого термического отжига STE RTA79 предназначена для проведения процессов быстрой температурной обработки полупроводниковых пластин в инертной среде и ориентирована как на интенсивные исследования и разработки (R&D), так и на мелкосерийный выпуск продукции в составе пилотной производственно-технологической линии.

Максимальный диаметр обрабатываемой пластины составляет 100 мм. Пластина (образец) загружается в камеру вручную через боковой фланец быстрого доступа и устанавливается на тепловыравнивающий столик из пиролитического графита, под которым находится нагреватель на основе системы линейных галогеновых ламп.

Максимальная мощность нагревателя составляет 18 кВт. Конструкция установки позволяет проводить сравнительно кратковременные процессы с температурой до 900°С и гарантированной скоростью достижения заданной температуры не менее 40°С/сек. Продолжительность процесса отжига при максимальной температуре составляет до 10 минут.

Камера из нержавеющее стали герметична и имеет интегрированное водяное охлаждение стенок. Для наблюдения за процессом отжига в ней предусмотрено кварцевое смотровое окно. Перед проведением процесса камера откачивается на форвакуум безмасляным насосом, после чего напускается инертным газом — такой режим позволяет существенно сэкономить продувочный газ.

В STE RTA79 возможна реализация двух газовых режимов:

  • непрерывная продувка камеры инертным газом в ходе отжига образца, регулируемая с помощью ручного ротаметра;
  • режим с автоматического поддержания заданного уровня давления внутри камеры.

Особенности конструкции STE RTA79:

  • предварительная откачка рабочей камеры с помощью мембранного насоса;
  • управление мощностью нагрева с помощью тиристорного регулятора;
  • автоматизация процесса откачки и газовой продувки камеры, позволяющая проведение процесса «по нажатию одной кнопки»;
  • возможность программирования «многостадийного» процесса отжига с помощью встроенного ПИД-контроллера;
  • контроль температуры рабочего столика с помощью двух термопар;
  • возможность установки оптического пирометра для дополнительного контроля температуры поверхности отжигаемой пластины (опция)
  • простота эксплуатации.
Спецификация STE RTA79
Характеристика Значение
Вакуумная часть
Предельное остаточное давление в камере (реакторе), мм.рт.ст. <10
Скорость откачки ФОР вакуумного насоса, м3/час 5
Водяное охлаждение стенок реактора (Б)
Процесс
Максимальный диаметр обрабатываемой пластины, мм 100
Максимальная мощность нагревателя, кВт 18
Максимальная скорость нагрева, °С/сек 40
Максимальная температура нагрева, °С 900
Однородность нагрева для пластины диаметром 100 мм, % ±2
Возможность проведения процесса отжига в вакууме —
Вжигание в кислороде —
Средства аналитики
Количество термопар, шт. 2
Оптический пирометр (О)
Автоматизация
Полная автоматизация процесса отжига (Б)
Срок поставки
Срок поставки 6—7 месяцев

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена ЗАО «Научное и технологическое оборудование»

Рубрикатор

Специальное предложение на конфокальный рамановский дисперсионный спектрометр Renishaw inVia
РОСНАНО - Государственная корпорация Роснанотех

Все проекты РОСНАНО

Последние поступления

Новости от RedTram

Поиск оборудования

A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V X Z А Б В Г Д Е И Л М Н О П Р С Т У Ф Э ВСЕ
Форма заказа оборудования

Текущие запросы

Требуется установка AX 6600-100

Требуется установка AX 6600-100 для изготовления алмазных плёнок на подложку (технология осаждения углерода из газовой фазы CVD).

Принята

Требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм по ГОСТ 17216

Нашему предприятию требуется микроскоп для подсчета частиц от 2мкм ГОСТ 17216-2001 МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ, ЧИСТОТА ПРОМЫШЛЕННАЯ, Классы чистоты жидкостей. Должна быть возможность автоматического подсчета частиц.

В обработке

НаноСкан-Компакт

Добрый день! Прошу выслать коммерческое предложение на приобретение  прибора "НаноСкан-Компакт. Сканирующий нанотвердомер" с учетом его растаможки и доставки в г. Харьков. Украина. Заранее благодарю.

В обработке

ИК-Фурье спектрометр

Необходим прибор для анализа светлых нефтепродуктов и растворителей. Просим выслать на рассмотрение коммерческое предложение на прибор с доставкой в Московскую область. Есть ли гарантии и гарантийное обслуживание, обучение персонала.

В обработке