Инструменты нанотехнологий

Zeiss Orion. Сканирующий гелиево-ионный микроскоп

Гелиево-ионный микроскоп Carl Zeiss Orion - абсолютно новый прорыв в микроскопии. Благодаря уникальным физическим параметрам гелиево-ионного пучка, ORION способен обеспечивать такими характеристиками: ангстремное разрешение, глубина резкости, материальный контраст, какие до сих пор невозможно было получить при помощи традиционных инструментов микроскопии.

Секрет сверхвысокого разрешения гелиево-ионного микроскопа заключается в уникальной технологии формирования ионного зонда и физике его взаимодействия с поверхностью образца. Формируемый источником гелиевый зонд имеет диаметр всего 0,24 нм, что, фактически, эквивалентно диаметру атома гелия. Вторым преимуществом использования гелиевых ионов, в сравнении с электронами, является меньшая длина волны. В результате чего, уменьшаются дифракционные эффекты.

При взаимодействии гелиево-ионного пучка с образцом, фактически, отсутствуют эффекты обратного рассеивания, ограничивающие разрешение в электронной микроскопии. Как результат, получаемое изображение имеет высочайшую чёткость и детализацию.

Гибкий и разносторонний микроскоп ORION предлагает обширный ряд аналитической информации:

  • топографическая,
  • материальная,
  • электрический контраст,
  • кристаллографическая,
  • поверхностная,
  • субповерхностная.

Отличные характеристике при работе с непроводящими образцами – еще одно достоинство данной технологии.

Преимущества гелиево-ионного микроскопа Carl Zeiss Orion

  • превосходный материальный контраст
  • сверхвысокое разрешение
  • широкий ряд аналитической информации
  • простая подготовка образца к исследованию
  • стабильный, долговечный жизненный ресурс системы
Основные характеристики
Характеристика Значение
Пространственное разрешение 0,75 нм при 30 кВ при рабочем расстоянии 4 мм
1,0 нм при  30 кВ при рабочем расстоянии 4 мм
2,5 нм при 10 кВ при рабочем расстоянии 4 мм
Диапазон увеличений 100х — 1 000 000х
Поле обзора 1 мм — 100 нм
Ионный пучок < 1 нм при 1 пА
Диапазон тока пучка 1фА — 100 пА
Ионный ресурс Ресурс системы газово-ионного источника > 1000 часов
Автоматический источник регулирования
Встроенные детекторы 1) Детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли
2) Микроканальная плата (опционально)
3) Автоэмиссионный детектор (опционально)
Рабочая камера Объем 400 мм3
Базовый вакуум 8 * 10-7
Плоский распределитель
Загрузочный шлюз
Вакуумная система Масляная
Площадка для образца

Полностью моторизированная, перемещающаяся в 5-и осях:

  • X =5 0 мм;
  • Y = 50 мм;
  • Z = 12 мм;
  • наклон 0° ÷ +45°;
  • вращение 360°
Видеокамеры 3 видеокамеры
Пользовательский интерфейс 2 ж/к монитора профессиональной серии с диагональю 20", с разрешением не хуже 2048 х 2048 пикселей
Новинка: Сканирующий гелиево-ионный микроскоп ORION PLUS

Новинка: Сканирующий гелиево-ионный микроскоп ORION PLUS

Информация предоставлена ОПТЭК (ZEISS Group)

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ