Инструменты нанотехнологий

M-105, M-106. Линейные платформы

Линейные платформы M-105, M-106 представляют собой устройства для прецизионных линейных перемещений в диапазоне до 18 мм и 5 мм соответственно.

Перемещение линейных платформ M-105, M-106 осуществляется посредством микрометрического винта (координатный микрометрический столик). Преднагрузка позволяет добиться высокой точности и воспроизводимости позиционирования, отсутствия люфта.

Возможно комбинирование линейных платформ M-105, M-106 для создания 2-х и 3-х координатных систем линейных перемещений.

Микрометрический винт, используемый в платформе M-105, позволяет обеспечить прямолинейность перемещений с точностью до 2 мкм, а дифференциальный механизм привода платформы M-106 позволяет получить разрешение перемещения до 0.1 мкм.

Возможно использование платформы M-105 с пьезоприводом, в этом случае диапазон доступных перемещений (при использовании рекомендуемых Physik Instrumente контроллеров) составит 30 мкм, разрешение 0.01 мкм.

Так же с платформой M-105 возможно использование актуаторов M-231.17 и M 232.17. В обоих случаях разрешение составит 0.1 мкм.

Технические характеристики
Характеристика M‐105.10* M‐105.1P* M‐106.10*
Диапазон перемещений, мм 18 18 5
Диапазон перемещений с пьезоприводом, мкм 30
Минимальный шаг перемещения с пьезоприводом, мкм 0.01
Минимальный шаг перемещения, мкм** 1 1 0.1
Люфт, мкм 2 2 2
Линейность перемещения, мкм 2 2 2
Плоскопараллельность, мкм 2 2 2
Максимальная нормальная нагрузка, кг 100 100 100
Максимальное толкающее/ тянущее усилие, Н 20/4 20/4 20/4
Максимальное боковое усилие, Н 4 4 4
Привод M‐626.00 P‐854.00 M‐653.00
Шаг микрометрического винта (грубо / точно), мм/об 0.5/— 0.5/— 0.4/ 0.02
Материал корпуса Сталь Сталь Сталь

* Версии M‐105.2x, M‐106.2x и M‐105.3x M‐106.x0 являются комбинациями базовой версии .1х.

** В моторизированной версии достигает 100 нм

M‐105.10 Габаритные размеры

M‐105.10 Габаритные размеры

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена Евротек Дженерал, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ