Каталог товаров

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для ВУЗов. Том 2

Поставщик: БИНОМ, Издательство Ключевые слова: СМИ, книги по нанотехнологиям

В книге изложены физико-химические основы технологии микроэлектроники, дана классификация технологических процессов, сформулированы критерии, определяющие характер их протекания и качество изделий.

  • Авторы/составители: Акуленок М.В., Андреева В.М., Громов Д.Г.
  • дата выпуска: 2010 г.
  • количество страниц: 252 стр.
  • ISBN: 978-5-9963-0336-6

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне cамостоятельный интерес.

Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.

Книга предназначена для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.

  • Теги