Каталог товаров

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Поставщик: БИНОМ, Издательство Ключевые слова: СМИ, книги по нанотехнологиям

В издании в свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем.

  • Авторы/составители: Галперин В.А., Мочалов А.И., Данилкин Е.В.
  • дата выпуска: 2010 г.
  • количество страниц: 283 стр.
  • ISBN: 978-5-9963-0032-7

Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Книга предназначена для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

  • Теги